판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9245343

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 집적 회로 칩, 디스플레이, 센서 및 태양 전지를 포함한 다양한 장치 제조에 사용되는 에처/애셔입니다. 정확하고 안정적인 에칭 및 애싱 (ashing) 처리로 알려진 최첨단 도구입니다. TEL 인디 에처/애셔 (TEL Indy etcher/asher) 는 조절 된 플라즈마 에너지를 분배하여 낮은 k 기질을 포함한 광범위한 물질에서 깊은 에치 또는 깨끗한 프로세스를 생성하는 좁고 깊은 플라즈마 노즐을 특징으로합니다. 좁은 노즐 (Nozzle) 과 낮은 유도 커플 링 (Inductive Coupling) 은 깊이가 크고 선택성이 뛰어난 넓은 비등방성 에치 또는 깨끗한 프로세스를 가능하게합니다. TOKYO ELECTRON Indy etcher/asher에는 최대 1kW의 고출력 펄스 플라즈마 발전기가 있으며, 혁신적인 다중 구성 요소 통합 컨트롤러 및 SECS-GEM 소프트웨어는 컴퓨터 제어 데이터 매개변수 및 프로그래밍 가능한 레시피로 기판을 자동으로 처리 할 수 있습니다. 또한, 다양한 어플리케이션을 위해 다양한 프로세스 가스를 처리 할 수 있습니다. 인디 에처 (Indy etcher )/애셔 (asher) 는 생산 환경에서 장치를 처리 할 때 생산성을 높이고 더 높은 균일성을 허용하는 2 챔버 디자인으로 구성됩니다. 발전기는 전자 레인지 소스, RF 발전기, 유통 및 가스 전달 시스템으로 구성됩니다. 컨트롤러 및 소프트웨어는 MFC, 대량 흐름 컨트롤러, 마이크로 컨트롤러, PC 네트워크 및 웨이퍼 매트와 같은 I/O 설정과 호환됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Etcher/asher의 다른 장점으로는 유연한 챔버 구성, 두 가지 유형의 입력 전원 (AC 또는 DC) 선택 및 표준 TEL 프로세스 제어 인터페이스와의 호환성이 있습니다. 이 기계는 견고하고 컴팩트하여 쉽게 설치하고 공간을 효율적으로 할당할 수 있습니다. 신뢰성, 정확성, 반복성 및 유연성으로 유명한 TEL Indy etcher/asher는 현대 산업의 요구를 충족시키는 이상적인 올인원 처리 기술입니다. 비용 효율성, 간편한 유지 관리 기능을 통해 애플리케이션 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 선호합니다.