판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9244851

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 에칭 프로세스를 정교하게 제어하는 고급 에칭 장비입니다. TEL 인디 (TEL Indy) 는 첨단 기술을 사용하여 높은 정확도와 반복성으로 다양한 기판을 에칭 할 수 있습니다. 도쿄 전자 인디 (TOKYO ELECTRON Indy) 는 업그레이드 가능한 플랫폼을 사용하여 특정 응용 프로그램 및 레이어 두께에 맞춘 에칭 결과를 생성합니다. 정밀 에칭 플랫폼은 고해상도 필드 방출 건, 진공 챔버, 제어 회로 및 독점 제트 제어 시스템으로 구성된 통합 멀티 스테이지 다이 레크릭 증착 및 에치 유닛 (etch unit) 을 기반으로합니다. 이 단위는 재료 용량, 용량 속도, 노즐 압력, etch 시간, 두께 정확도와 같은 여러 중요한 에칭 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 화면 개인 프로그램 사양과 에치 레시피 라이브러리 (Library of etch recipe) 를 제공하여 에칭 매개변수를 최대 유연하게 조정합니다. 인디 (Indy) 의 컴퓨터 제어, 자동 에치 프로세스는 사람의 오류를 최소화하고 비용 효율성이 높고 안정적입니다. 이 시스템은 Windows 기반 소프트웨어를 사용하여 사용자 친화적 인 인터페이스와 여러 운영 모드를 제공하여 다양한 에치 속도 (etch rate), 프로세스 시간 (process time) 및 레이어 두께 (layer thickness) 를 사용할 수 있습니다. 이 도구는 에치 (etch) 를 구성하고 블록 에치를 수행하고 공기 간격 에치 및 CMP 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한 우수한 P-VDF 기판 호환성을 제공하여 거의 모든 유형의 코팅을 사용할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 또한 높은 정밀도 온도 및 압력 제어 자산을 갖추고 있으며, 에칭 프로세스의 정확성과 최적화를 더욱 제공합니다. TEL 전용 현장 온도 튜닝 가능한 마그네트론 스퍼터링 기술을 사용하여 TEL 인디 (TEL Indy) 를 설정하여 다른 재료 및 레이어에 대한 최적의 에칭 성능을 설정할 수 있습니다. 수동 또는 자동 로드, IC 프로세스, 배치 (batch) 또는 단일 기판 자동화, CMP 작업 등 다양한 구성을 제공하는 인디 (Indie) 는 탁월한 다재다능성을 제공하며 대부분의 에칭 요구를 충족할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy 의 모듈식 설계/엔지니어링을 통해 다른 구성요소 및 기존 인프라와 손쉽게 업그레이드, 통합할 수 있습니다. 또한, 이 모델의 이중화 (redundancy) 기능은 중요한 산업 환경을 위한 추가적인 신뢰성을 제공합니다. 인디 (Indy) 는 탁월한 정확성과 자동화를 통해 까다로운 에치 (etch) 프로세스와 프로세스 신뢰성 및 반복성을 제공함으로써 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 선택이 가능합니다.