판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9235797

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 반도체 및 평면 패널 디스플레이 처리에 사용되는 혁신적인 에치 머신입니다. 검증된 기술과 안정성을 갖춘 TEL 인디 (TEL Indy) 는 높은 처리량과 정확한 결과를 바탕으로 반도체와 평면 패널 디스플레이를 처리하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Indy etcher는 고도의 진공 방법 및 센서 시스템을 사용하여 환경 프로세스 매개 변수를 정확하게 측정하고 조정합니다. 이렇게 하면 재료 유형과 기판 저항에 관계없이 작고, 정확한 피쳐를 패턴화하고, 일관된 에치 깊이를 만들 수 있습니다. 인디 (Indy) 는 매우 복잡한 회로와 설계 패턴을 높은 처리량과 정확도로 패턴화할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy의 첨단 기술로 가변 온도 플라즈마 (plasma) 로 이방성 에칭을 사용할 수 있으므로 작고 복잡하며 복잡한 회로 패턴을 에칭하기에 적합합니다. 저온 공정은 저압 플라즈마 방전, 처리량 증가, 속성 향상, 에칭 결과 신뢰성을 허용합니다. TEL Indy는 설치, 작동 및 제어를 단순화하는 강력한 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 이 터치스크린 기반 인터페이스는 운영 중 포괄적인 후속 기능을 제공하며, 향후 분석을위한 상세한 에치 (etch) 프로세스를 기록합니다. TOKYO ELECTRON Indy는 광범위한 화학 에칭 기술 및 RIE (Reactive Ion Etching) 와 같은 드라이 에칭 기술을 포함하여 다양한 에칭 기술을 사용할 수 있습니다. 또한, 인디 (Indy) 는 금속 및 세라믹과 같은 단단한 재료를 처리 할 수 있으므로 3D 구조를 만들고 복잡하고 복잡한 회로 패턴을 만드는 데 이상적입니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Etcher는 대부분의 반도체 및 평면 패널 디스플레이 응용 프로그램의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 첨단 기술은 신뢰성, 정확성 및 높은 처리량 에칭 프로세스를 보장합니다.