판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9141006

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 반도체 생산 공정의 생산 및 처리량을 극대화하는 고해상도 에칭 장비입니다. 이 시스템은 실리콘, 유리, 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 같은 대부분의 벌크 및 장치 등급 기판에서 작동하도록 설계되었습니다. 텔 인디 (TEL Indy) 장치는 고급 광학, 헬륨-네온 레이저 소스 및 냉동 건조기를 사용하여 입자 오염을 최소화하는 향상된 이미지 해상도 및 에칭 정밀도를 제공합니다. 이 도구는 에칭 (etch) 및 에치 클리닝 (etch-clean) 응용 프로그램을 쉽게 전환할 수 있도록 상호 교환 가능한 공구 헤드가 있는 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 통합 소프트웨어를 사용하면 지정된 패턴의 각 웨이퍼 (wafer) 에 대한 전원, 속도, 전압 설정을 자동으로 조정할 수 있습니다. 에셋에는 에칭을 위해 정확하고 안정적인 깊이 제어를 제공하기 위해 설계된 HFC (Hydrofluorodiode) 기술도 있습니다. HFC 모델은 비활성 기체의 조합을 혼합하여 전체 웨이퍼 (wafer) 표면에 균일 한 에칭을 실현하고, 플라즈마 방출을 억제합니다. TOKYO ELECTRON Indy 에칭 시스템에 사용되는 공구 헤드는 비교할 수없는 정확도와 해상도를 제공하여 패턴을 10nm까지 정밀 해상도 할 수 있습니다. 공구 헤드는 via-tools, photoresist spinners 및 metal evaporation 소스를 포함한 다양한 카트리지 유형 컴포넌트로 사용자정의할 수 있습니다. 또한, Indy 장비는 통합 처리 센서를 사용하여 가스 흐름, 온도, 전원 수준 등 실시간으로 주요 프로세스 매개변수를 모니터링합니다. 이들 "센서 '는 수율 에 영향 을 줄 만큼 중요 해지기 전 에 모든 프로세스 변경 을 탐지 하도록 설계 되었다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Etching System은 또한 그루브 에칭을위한 저온 에치 모드, 대용량 프로세스를위한 빠른 에치 모드, 웨이퍼 수차 예측 및 예방을위한 이상 감지 기능 등 다양한 기능을 지원합니다. TEL 인디 (TEL Indy) 장치는 탁월한 에칭 성능뿐만 아니라 높은 처리 능력, 높은 처리량 및 뛰어난 균일성을 제공합니다. 광범위한 기능과 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON Indy (TOKYO ELECTRON Indy) 는 에칭 생산 프로세스에 전력을 공급하는 완벽한 선택입니다.