판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9137330

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 고 종횡비 이방성 에칭과 같은 고급 프로세스를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 에처/애셔는 고속 RF 발전기, 고출력, 저이온 폭격 및 고도의 제어를 특징으로합니다. "실리콘 '," 스테인리스' 강철, 구리, 유리 등 여러 가지 재료 와 "웨이퍼 '크기, 식각 속도, 선택성 등 광범위 한 공정" 파라미터' 에 대한 복잡 하고 정밀 한 식각 절차 를 할 수 있다. TEL Indy는 또한 훌륭한 영화 퇴적 특성을 제공합니다. 고급 터보 분자 펌핑 시스템 (turbomolecular pumping system) 은 최대 프로세스 기능을 보장하며, 고급 내부 컴포넌트와 결합된 관대 한 챔버 볼륨 (chamber volume) 은 종횡비가 큰 여러 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 깨끗한 설계 (Clean Design) 는 다양한 프로세스 매개변수를 제공하며, 다양한 애플리케이션에 맞게 구성할 수 있습니다. 도쿄 전자 인디 (TOKYO ELECTRON Indy) 는 균일 한 플라즈마와 작은 너비와 높은 종횡비를 가져올 수있는 능력을 특징으로합니다. 나노 패턴 (nano patterning), 트렌치 에칭 (trench etching) 및 단일 및 멀티 웨이퍼 프로세스와 같은 박막 에칭에 적합합니다. 인디 (Indy) 는 다른 기술보다 훨씬 높은 에칭 속도를 달성 할 수 있으며, 높은 수준의 프로세스 제어 및 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 유지 보수 및 다운타임을 최소화하여 처리량을 높일 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 또한 산소 또는 질소 획기적인 모니터링, 이온 분석 시스템 및 CCD 카메라 모니터링과 같은 다양한 후처리 기능과 엔드 포인트 검출 옵션을 제공합니다. 또한, 고성능 진단 시스템을 사용하여 신속한 장애 분석을 수행할 수 있습니다. 결론적으로, TEL Indy는 고 종횡비 이방성 에칭과 같은 고급 프로세스를 위해 설계된 뛰어난 에처/애셔입니다. 광범위한 프로세스 매개변수, 포스트 프로세싱 (post-processing) 기능, 장애 분석 툴을 제공하며, 유지 보수 및 다운타임을 최소화하여 높은 처리량과 생산성을 보장합니다.