판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9121067

TEL/TOKYO ELECTRON Indy (TEL/TOKYO ELECTRON Indy) 는 다양한 프로세스 범위에서 최적의 처리 성능, 높은 처리량, 뛰어난 균일성을 제공하여 높은 품질과 안정적인 생산성을 제공합니다. 이 장치는 RIE, CVD, 스퍼터 프로세스 (Sputter process) 등 다양한 에칭, 추가, 스트리핑 프로세스를 갖춘 조절 가능한 완전 자동화 플랫폼을 제공하여 모든 프로세스 요구 사항에 적합합니다. 또한 워크플로를 제어하기 위한 고급/맞춤형 PLC 제어 장비가 장착되어 있어 자동화된 시스템 유지 관리 (maintenance) 및 예방 (preventative) 기능을 통해 안정적인 작동을 보장합니다. TEL 인디 (TEL Indy) 는 또한 편리한 운영 편의성, 유연성, 손쉬운 조정 매개변수, 자동 프로세스 조건 설정, 사용이 간편한 원격 유지 관리 기능을 제공하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Indy는 최대 에칭 속도 (40/분), 공간 해상도 (5) 및 공정 범위가 30kHz ~ 10GHz인 고성능 에칭/애셔 장치를 자랑합니다. 또한 빠른 응답 시간을 통해 7MHz (Line-by-Line Replay Rate) 를 향상시켜 처리량을 높일 수 있습니다. 이 기계는 또한 4 방향 모니터링 기능으로 다방향 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 수행할 수 있으며, 이는 미세한 패턴과 작은 기능의 생산에 적합합니다. 또한, Indy는 위험 회피 시스템, 오류 방지, 위험 감소 등 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 도구는 SEMI S2와 같은 환경 안전 표준 (Environmental Safety Standard) 과 호환되며 여러 가스 전달 시스템과 호환됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy (TEL/TOKYO ELECTRON Indy) 는 고급 기계 학습을 통해 제작되어 프로세스 반복성 및 생산의 유연성을 향상시키는 동시에 다운타임과 유지 보수를 최소화합니다. 고성능 제품으로 리서치/프로덕션 분야에서 다양한 프로세스에 대해 효과적이고 안정적인 생산 솔루션을 제공할 수 있으며, 높은 정밀도를 통해 반도체, MEMS, IC 장치 제조 분야에 적합합니다 (영문).