판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293824557

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 반도체 장치 제조를위한 고급 에처/애셔입니다. 높은 종횡비 에칭 및 애싱 프로세스에 대한 고급 전문화를 제공합니다. 정밀 에칭 및 애싱을 위해 TEL 인디 (TEL Indy) 에는 레이저 간섭 단계 탐색뿐만 아니라 개별적으로 제어 할 수있는 3 개의 독립적 인 에칭/애싱 소스가 장착되어 있으며, 더 큰 반복성과 개선 된 제조 결과를 제공합니다. TOKYO ELECTRON Indy는 최대 프로세스 압력 10Torr, 최대 성능 2MHz RF 전력 및 디지털 임피던스 제어 장치 (digital impedance control unit) 를 사용하여 바이어스 전위를 정확하게 제어합니다. 또한 인디 (Indy) 는 다양한 툴링 구성과 혁신적인 오리엔테이션 제어 기능으로 뛰어난 유연성을 제공합니다. 따라서 다양한 형태, 크기, 재료에 대한 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 응용 프로그램을 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 다양한 프로세스 가스 및 기판과 호환되며, 도전적인 에칭/애싱 요구 사항을 충족시키는 능력을 더욱 향상시킵니다. 또한 TEL Indy의 다중 프로세스 챔버 (multiple process chamber) 설계는 여러 프로세스 간의 분리를 최적화하여 처리량을 높이고 공구 가동 시간을 연장합니다. 전반적으로, TOKYO ELECTRON Indy는 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 대한 최적의 성능을 제공하는 고급, 고도로 전문화 된 etcher/asher입니다.