판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293821710

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 기판 또는 기판 표면에서 원치 않는 물질을 제거하는 데 사용되는 etcher/asher의 한 유형입니다. 컴퓨터 제어 기계는 에칭 챔버 (eching chamber), 백사이드 (backside), 프로세스 제어 및 통신 (process control and communication) 의 세 가지 주요 부분으로 나뉩니다. 에칭 챔버는 에칭 프로세스가 진행되는 곳입니다. 가스 (gaseous) 분위기의 밀봉된 챔버 (chamber) 이며, 운영자가 요구하는 특정 에칭 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의 할 수 있습니다. 공정 "가스 '는 머리 위 의" 가스' 배출구 를 통하여 챔버 로 흘러 들어가며, 기판 은 벌크 "웨이퍼 로더 '를 사용 하여 챔버 로 옮겨진다. 에칭 프로세스는 공정 허가, 온도 제어, 압력, 플라즈마 전원 및 기타 매개변수를 통해 제어 할 수 있습니다. etcher/asher의 뒷면은 프로세스 제어가 발생하는 곳입니다. 컨트롤러, 전원 공급 장치, 열전대, 진공 펌프 및 기타 시스템 구성 요소로 구성됩니다. 컨트롤러는 에칭 (etching) 프로세스를 제어하고 연산자의 지시에 따라 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 조정하는 컴퓨터와 통신합니다. 전원 공급 장치 는 "에칭 '과정 을 위한 전기 를 공급 하고 열전대 와 진공" 펌프' "모니터 '를 공급 하고" 에칭' 실 의 온도 와 압력 을 유지 한다. 에칭 프로세스에는 프로세스 제어 및 통신도 필요합니다. etcher 에 연결된 시스템은 main process control computer 및 기타 시스템 구성 요소와 통신할 수 있습니다. 이것은 RS-232, Profibus 및 TCP/IP와 같은 통신 프로토콜을 통해 수행됩니다. 또한 운영자가 에칭 (etching) 매개변수를 보고 수정하고 네트워크를 통해 에칭 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 TEL Indy는 에칭 프로세스를 정확하게 제어하는 효율적인 etcher/asher입니다. 그것 은 다양 한 "에칭 '" 가스' 를 가지고 여러 종류 의 기판 들 을 식각 할 수 있으며, 정확 하고 세밀 한 "가스 '를 생산 할 수 있다. 또한 프로세스 제어 (process control) 및 통신 기능을 통해 운영자는 제품 품질을 극대화하고 처리 시간을 줄일 수 있습니다.