판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293758841

텔/도쿄 전자 인디 (TEL/TOKYO ELECTRON Indy) 는 에처 (etcher) 또는 애셔 (asher) 로, 다양한 표면에 패턴을 스트리트하고 만드는 데 사용되는 장치입니다. 반도체, 사진 촬영, 데이터 저장 및 기타 다양한 재료의 마이크로 패브라이션 (microfabrication) 및 나노 패브라이션 (nanofabrication) 에 널리 사용됩니다. TEL Indy는 2 단계 스캔 시스템으로 제작되었습니다. 첫 번째 단계는 고해상도 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 장치이고, 두 번째 단계는 저해상도 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 장치입니다. 또한, 스퍼터 에칭 증착 (sputter etching deposition) 과 같은 청소 및 박막 증착 공정에 사용될 수도 있습니다. 도쿄 일렉트로닉 인디 (TOKYO ELECTRON Indy) 는 또한 현장 청소 (in situ cleaning) 를 수행 할 수 있으며, 이는 수동 청소를 위해 장치를 중지할 필요가 없다는 것을 의미합니다. 이 다용도 (versatile) 머신에는 에칭 매개변수 (etching parameter) 와 프로세스 (process) 를 정확하게 제어할 수있는 많은 기능이 있습니다. 인디 (Indy) 에는 적절한 에칭 조건을 쉽고 정확하게 선택할 수있는 스마트 에칭 및 클리닝 알고리즘 세트가 포함되어 있습니다. 또한 원하는 스캔 수, 에칭 깊이, 에치 속도, 에칭 환경 등을 지정할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 에치 특성 (etch characterics) 과 매개변수를 더욱 사용자 정의하기 위해 여러 수준의 컴퓨터 지원 설계를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy (TELL/TOKYO ELECTRON Indy) 가 수집 한 데이터는 실시간으로 업데이트되며, 이를 통해 사용자는 더 긴 기간 동안 에칭 결과를 저장하고 모니터링 할 수 있습니다. 이 데이터는 프로세스 매개변수 (process parameter) 에서 불필요한 변동이 있음을 감지하기 위해 오랜 기간 동안 프로세스를 모니터링하는 데 사용될 수 있습니다. 앞에서 언급했듯이, TEL Indy는 스퍼터 에칭 및 증착을 수행하는 데 사용될 수도 있습니다. 스퍼터 에칭 (sputter etching) 에서, 표면의 작은 면적은 선택된 가스의 이온으로 폭격된다. 이것 은 표적 물질 에 영향 을 주어, 입자 가 갈라지게 하여, 표면 에 얇은 물질 "필름 '을 만든다. TOKYO ELECTRON Indy는 에칭 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 강력한 에칭 도구입니다. 이 "시스템 '은 강력 한 특징 과 뛰어난 정밀도 를 지닌" 마이크로패브라이션' 과 "나노패브라이션 '실험실 을 통해 원하는 결과 를 쉽게 달성 할 수 있다.