판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293754737

TEL/TOKYO ELECTRON Indy (이하 TEL Indy) 는 산화물 에칭, 폴리 실리콘 에칭 및 웨이퍼 애싱이 가능한 고급 고 처리량 에처/애셔입니다. TOKYO ELECTRON Indy는 현지에서 제공하는 3 축 테이블 탑챔버와 업계 최고의 제어 장비를 사용하여 건설되었습니다. 챔버 (chamber) 는 316 등급 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 제조되며, 열 효과로부터 최대 절연을 보장하기 위해 하단 및 측면에 세라믹 시트로 코팅됩니다. 챔버 내부에서, 기질은 플라즈마 에치의 효율적인 적용을 위해 핫 플레이트 (hot plate) 와 3 개의 전극이 장착 된 특수 전기 연마 석영 서셉터에 의해 지원된다. 인디 (Indy) 는 프로세스를 간소화하고 포괄적인 솔루션을 제공하는 다양한 운영 기능을 자랑합니다. 이 시스템에는 효율적인 재료 처리를 위한 초고속 로드록이 있습니다. 정교한 가스 전달 장치를 사용하면 유속, 압력, 온도 및 조성을 완전히 제어 할 수 있습니다. 또한, 다목적 프로세스 레시피 관리 머신은 최대 20 개의 매개 변수를 기록하여 일관되고 반복 가능한 결과를 보장 할 수 있습니다. 이 툴의 고효율 플라즈마 소스 설계는 낮은 전력 소비량, 낮은 운영 비용, 긴 수명 (수명) 을 제공합니다. 이것은 고급 센서 기술과 결합 된 최적화 된 CW 마그네트론 소스를 사용하여 달성됩니다. 이것은 결함 기판 거부를 줄이면서 신뢰할 수있는 작동을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy에는 실시간 프로세스 제어를 갖춘 고급 모니터링 자산도 있습니다. 즉, 모델이 전체 프로세스를 추적하고 최적화하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 실시간 온도 제어는 목표 온도를 유지하고 시작 온도에 관계없이 반복 가능한 에칭을 가능하게합니다. 이 장비는 인체 공학적 설계를 통해 쉽게 작동 할 수 있습니다. 직관적인 디스플레이 (Display) 와 단순화된 제어판 (Control Panel) 을 갖춘 최적화된 사용자 인터페이스가 있습니다. TEL 인디 (TEL Indy) 는 또한 다양한 데이터 분석 및 로깅 기능을 지원하여 높은 수준의 통계 프로세스 제어 요구 사항을 충족합니다. TOKYO ELECTRON Indy etcher/asher는 모두 프리미엄 성능과 산화물 에칭, 폴리 실리콘 에칭 및 웨이퍼 애싱 결과를 제공합니다. 첨단 기능 (Advanced Features) 과 혁신적인 설계 (Innovative Design) 를 통해 이러한 재료와 관련된 최첨단 프로세스를 지속적으로 유지할 수 있습니다.