판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293751273

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 비용 효율적이고 고정밀 처리를 위해 설계된 완전 자동화 된 에처/애셔입니다. 이 장비는 저항 애싱, 질화물 에칭, 산화물 에칭, 폴리 에칭, 금속 에칭 및 선택적 에칭을 포함하여 반도체 산업의 다양한 치료에 사용됩니다. TEL Indy 는 다양한 프로세스 요구 사항에 맞는 최적의 성능, 정확성, 신뢰성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Indy는 최대 4 개의 공정 챔버를 보유하고 있으며 금속 및 유전층을 모두 수용 할 수 있습니다. 따라서 쿼츠 에치, 폴리 레지스트 스트립, 기판 클리닝, 유전체 에치 등 다양한 프로세스 요구 사항에 적합합니다. 이 장비는 또한 RF, PECVD 및 ICP 소스를 포함한 다양한 플라즈마 전원을 제공합니다. 인디 인터페이스 모듈 (Indy's interface module) 에는 다양한 작동 매개변수 설정과 경보가 가능한 사용하기 쉬운 패널이 있습니다. 통합 클린 룸 환경 제어 시스템은 오염 물질로부터 장비를 보호합니다. DRIE (Deep Reactive Ion Etching) 와 같은 기술로 TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 전통적인 에칭 방법으로 달성 한 것보다 더 큰 기능을 사용하여 에치를 할 수 있습니다. TEL 인디 (TEL Indy) 에는 프로세스 반복성을 위해 여러 레시피를 저장할 수있는 통합 레시피 관리 장치가 있습니다. 자동화된 웨이퍼 처리 장치 (automated wafer handling machine) 는 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었으며 입자 오염을 방지합니다. TOKYO ELECTRON Indy는 저렴한 비용으로 높은 성능과 신뢰성을 제공합니다. 반도체 연구 및 제조에서 정밀 에칭에 이상적인 선택입니다. 또한 ashing, poly etching 및 wet etching/plasma etching 애플리케이션에 이상적입니다. 인디 (Indy) 는 반도체 산업의 정밀 에칭 요구를 충족하기 위한 매우 효율적이고, 비용 효율적이며, 신뢰할 수 있는 솔루션입니다.