판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293658581

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 반도체 웨이퍼 기판을 쉽고 효율적으로 에칭할 수 있도록 설계된 최첨단 자동 asher/etcher 장비입니다. 이 완전 자동화 된 시스템은 다양한 웨이퍼 재료와 크기에 대해 다양한 에칭 프로세스 (부식, 수동화, 포토 esist 등) 를 사용할 수 있으므로 매우 다재다능합니다. 고급 기능으로는 재료 처리 플랫폼 (platform for material handling), 웨이퍼 탐색 및 찾기를위한 이미징 장치 (imaging unit), 에칭을위한 강력한 발전기가 있습니다. TEL 인디 (TEL Indy) 는 여러 프로세스 사이클과 빠른 웨이퍼 전송 시간 (wafer transfer time) 을 갖춘 최대 처리량을 위해 특별히 설계되었으며, 웨이퍼가 정확하고, 빠르고, 깨끗하게 에칭되도록 오염 속도를 줄였습니다. 기계의 공정 범위는 넓으며 웨이퍼 크기는 50mm ~ 300mm입니다. 최대 3 층의 코팅 (coating) 으로 웨이퍼를 처리하여 고성능 재료를 에칭하도록 설계되었습니다. "토오쿄오 일렉트로닉 인디 '는 에칭 과정 을 분해 하여 빠르고 간단 한 과정 을 마련 해 주는데, 이것 은" 척' 에 "웨이퍼 '를 적재 한 다음" 웨이퍼' 표면 을 영상 으로 표시 함 으로써 시작 된다. 다음으로 이미징 도구를 사용하여 웨이퍼를 정렬합니다. 이렇게 하면, 강력 한 발전기 와 여러 공정 "사이클 '이 기판 을 빠른 속도 로" 에칭' 하는 과정 을 시작 할 수 있다. 프로세스가 완료되면 "웨이퍼 '가 언로드되고 다음 단계에 대비합니다. Indy는 자동화된 프로세스로 인해 프리미엄 수준의 안전을 제공합니다. 이 자산에는 산업 등급 안전 (industrial-grade safety) 모델이 있으며, 이 모델에는 강한 산 및 기타 리소그래피 화학 물질이있는 경우 사용자의 안전을 보장하기위한 케이지 (cage) 와 한 쌍의 보안 장벽이 포함됩니다. 이 장비에는 우발적 인 오발시 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼도 포함되어 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 자동 웨이퍼 모니터링, 자동 노즐 교체, 자동 프로세스 점검과 같은 간편한 유지 관리 기능을 통해 낮은 유지 관리 작업을 제공합니다. 이 시스템은 또한 데이터 스토리지 (data storage) 를 내장하여 제조업체의 데이터 저장 및 품질 점검 (quality check) 을 통해 추가 분석을 수행할 수 있습니다. TEL 인디 (TEL Indy) 는 고급 에칭 기능과 사용하기 쉬운 디자인으로 반도체 업계에서 귀중한 도구입니다. 이 장치의 독특한 기능은 다양한 반도체 웨이퍼 기판의 정확하고 효율적인 에칭 (etching) 을 위한 탁월한 옵션입니다.