판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293654427
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 기판을 에칭 또는 파열 할 때 사용자에게 정밀도, 정확성 및 신뢰성을 제공하는 차세대 에처/애셔 장비입니다. 이 강력한 도구는 etching/ashing 프로세스 동안 최고 수준의 성능을 보장하기 위해 TEL 의 최신 기술을 갖추고 있습니다. TEL Indy는 습식 및 건식 에칭 공정, 애싱 및 광화학 공정을 모두 가능하게합니다. 이 향상된 프로세스 유연성을 통해 사용자는 기판에 필요한 정확한 에칭/애싱 (etching/ashing) 정의를 달성 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy (TOKYO ELECTRON Indy) 는 이중 로드 잠금 설계로 설계되어 보다 빠른 처리를 위해 기판을 동시에 적재 및 언로드할 수 있습니다. 또한, Indy는 기판의 안전한 제거 및 적재를 위해 특허를받은 "리프트 다운" 웨이퍼 전송 시스템을 제공합니다. 이 기능은 스크래치를 줄이고 프로세스 정확도를 높입니다. 석유 프리 백킹 및 높은 처리량을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON Indy의 강력한 3 단계 진공 터보 펌프는 기판 손상이 최소화되어 빠른 처리 속도가 필요한 혁신적인 프로세스에 매우 중요합니다. TEL Indy는 정확한 온도 조절 및 균일 한 처리를 위해 3 구역 챔버 디자인을 자랑합니다. 고정밀 모션 컨트롤러는 나노 스케일 에칭/애싱 프로세스에 대한 높은 수준의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 또한 TOKYO ELECTRON Indy 는 지원 및 유지 보수 원격 액세스, 다중 어레이 (multiple-array) 처리 기능, 장치 완전 자동 작동을 위한 소프트웨어 등 다양한 고급 자동화 기능을 제공합니다. 마지막으로, Indy는 안전 기능이 내장 된 유일한 etcher/asher 기계입니다. 스틸 프레임은 전체 도구를 둘러싸고 잠재적 인 장치 위험을 최소화합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy (TEL/TOKYO ELECTRON Indy) 에는 잠재적 인 가스 누출을 모니터링하고 위험한 상황에서 자산을 중단하는 센서가 있습니다. 결론적으로 TEL 인디 (TEL Indy) 는 높은 수준의 정확도, 정밀도 및 신뢰성이 필요한 에칭 및 애싱 기질에 이상적인 선택입니다. 듀얼 로드 잠금 디자인, 3 존 챔버, 고정밀 모션 컨트롤러, 고급 안전 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON Indy는 업계 최고의 에칭 및 애싱 결과를 제공합니다.
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