판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293648515

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 고성능 확산 에처/애셔입니다. 이 장비는 높은 에치 속도, 균일성, 반복성, 주요 프로세스 매개변수의 정밀 제어 (precision control of key process parameters) 와 같은 기능을 통해 디지털 및 아날로그 응용 프로그램 모두에서 우수한 반도체 장치 제작 성능을 얻을 수 있습니다. 용도에 따라 실리콘, 금속, 산화물, 질화물 등 다양한 재료를 처리하도록 TEL Indy 장비를 구성 할 수 있습니다. 실리콘 (Silicon) 의 경우, 이 시스템은 대략적인 에치 레이트 (etch rate) 를 갖는 두꺼운 필름을 1 초에서 2 초까지 처리 할 수 있으며 전체 웨이퍼 표면에서 +/- 5% 의 뛰어난 에치 균일 성을 달성 할 수 있습니다. 이러한 이점은 향상된 웨이퍼 수율, 높은 처리량, 낮은 생산 비용으로 해석됩니다. 도쿄 전자 인디 (TOKYO ELECTRON Indy) 장치는 두 가지 모델로 제공되며, 둘 다 작은 설치 공간과 모듈식 설계로 기존 반도체 처리 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다. 두 모델의 주요 차이점은 RF/DC 또는 RF/마이크로파 (microwave) 인 플라즈마 소스이므로 광범위한 기판 및 플라즈마 기반 프로세스에 적합합니다. 인디 머신 (Indy Machine) 에는 모니터 창, 표면 검색 센서, 오존 제거 기능을 갖춘 환기 팬 등 운영자와 환경을 보호하기 위해 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 그래픽 운영 도구, 프로세스 관리 자산 등의 소프트웨어 기능을 통해 전체 모델 자동화 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON Indy 장비의 현장 모니터링 시스템을 통해 웨이퍼 매개 변수를 실시간으로 분석하여 프로세스 모니터링 및 관리를 향상시킬 수 있습니다. TEL 인디 (TEL Indy) 장치는 반도체 장치 제작을 위한 강력한 도구이며, 장치 설계를 위해 안정적이고 정밀한 처리가 필요한 조직에 도움이 될 수 있습니다. 고급 안전 (Safety) 과 자동화 (Automation) 기능을 통해 머신은 생산량을 향상시키면서 생산 비용을 절감하고 환경 안전을 보장할 수 있습니다.