판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293627658

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 TEL에서 제조 한 에처/애셔 장비로 반도체, MEMS 및 나노 기술 산업의 높은 생산 속도 및 정밀 에칭 프로세스를 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 높은 정확도로 중요한 기능을 에칭하며, 안정성 및 안정성 향상을 위한 자동화된 프로세스 제어 (automated process control) 기능을 갖추고 있습니다. TEL 인디 애셔 (TEL Indy Asher) 는 이중 모드 프로세스 챔버 설계를 가지고 있으며, 프로세스 유연성을 최적화하기 위해 상하 가스 분포를 갖추고 있습니다. 상부 공정 챔버 (upper process chamber) 는 증착 공정에 사용되며 RF 발전기, 샤워 노즐 및 가열 코일이 장착되어 있습니다. 하부 챔버는 에칭에 사용되며 RF 발전기와 샤워 노즐 (shower nozzle) 이 장착되어 있습니다. 이를 통해 증착 (deposition) 과 식각 (etching) 에 대한 동시 프로세스 제어 및 모니터링이 가능하며 프로세스 반복성과 재생성이 향상됩니다. TOKYO ELECTRON Indy Asher는 200mm 및 300mm 웨이퍼 크기와 4 "또는 8" 과 같은 특수 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 또한 안정적인 프로세스 조건을 유지하고 입자 생성을 줄일 수있는 지능형 하중 제어 챔버 (Intelligent Load Control Chamber) 가 장착되어 있습니다. 또한 선형 및 비선형 에칭 프로세스를 모두 지원합니다. 인디 애셔 (Indy Asher) 머신에는 고속 스테이지, 자동 초점 및 XYZ 회전 스테이지와 같은 고정밀 모션 제어 시스템이 장착되어 정확한 포지셔닝이 가능합니다. 다양한 자동 프로세스 레시피 제어 (Automated Process Recipe Control) 기능을 통해 프로세스 처리량을 높이고 제품 품질을 향상시킬 수 있습니다. 또한 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 터치 패널 (Touch Panel) 과 작업 추적 및 운영 기록을 위한 고급 데이터 스토리지 툴 (Advanced Data Storage Tool) 이 있습니다. 프로세스 안전성과 반복성을 보장하기 위해 TEL/TOKYO ELECTRON Indy Asher에는 프로세스 및 결함 진단, 온도 조절 시스템 및 웨이퍼 바이 웨이퍼 프로세스 제어가 장착되어 있습니다. 에셋은 또한 NF3, CF4 및 NH4ClF를 포함한 다양한 가스와 호환되므로 멀티 레이어 에칭 및 증착이 가능합니다. 전반적으로 TEL 인디 애셔 (TEL Indy Asher) 는 정교한 프로세스 기능, 정확하고 반복 가능한 에칭 프로세스 및 안정적인 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 정밀 에칭이 필요한 고급 MEMS, 반도체 및 나노 기술 응용 프로그램에 적합합니다.