판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293619005
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy etcher/asher는 작고 비용 효율적인 대규모 에칭 및 애싱 장비입니다. 인쇄 회로 기판, 대규모 집적 회로 기판 등 고밀도 기판 생산을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 모두에 단일 플래튼을 사용하며, 한 번의 실행에서 여러 레이어를 패턴화할 수도 있습니다. TEL Indy etcher/asher는 고급 가스 기술을 사용하여 매우 정확한 패턴을 만드는 고해상도 및 고해상도 설계를 특징으로합니다. 또한 탁월한 기능 해상도, 영역, 처리량을 결합하여 높은 수율, 향상된 제품 신뢰성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Indy Etcher/asher는 폐쇄 루프 처리, 배기 노즐 내장 및 연기 여과와 같은 기능을 통해 환경 보호를 위해 설계되었습니다. 이 기계 에는 또한 집적 입자 계수기 (integrated particle counter) 가 있는데, 이 계수기 는 모든 입자 가 과정 전, 중, 후 에 "플래튼 '에서 제거 되는 데 도움 이 된다. 인디 에처 (Indy etcher )/애셔 (asher) 는 광범위한 기질과 저항을 에치 앤 애셔하는 유연성을 제공합니다. 이 도구의 저압 레시피 (low pressure recipe) 선택을 통해 사용자는 정확한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로파일을 생성하여 특정 요구 사항을 충족할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Etcher/asher 또한 다른 처리 시스템과 함께 사용할 수 있으므로 사용자가 더 복잡한 처리 솔루션을 달성 할 수 있습니다. TEL Indy etcher/asher 는 단순하고 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 사용자가 프로세스를 쉽게 설정하고 모니터링할 수 있도록 합니다. 에셋은 또한 반복 가능한 프로세스, 정확한 도구, 웨이퍼 정렬을 통해 정확한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 툴은 TEL 가스 기술의 효율성과 고급 데이터 캡처 및 분석 소프트웨어를 결합합니다. TOKYO ELECTRON Indy etcher/asher는 장비 생산, 유지 보수 및 수리를위한 훌륭한 선택입니다. 매우 안정적이고 사용하기 쉽고, 항상 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 정확하고 반복 가능한 프로세스와 결합된 견고한 구성과 신뢰할 수있는 성능은 인디 에처 (Indy etcher )/애셔 (asher) 를 광범위한 고객에게 이상적인 선택으로 만드는 핵심 요소입니다.
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