판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9389742

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 9389742
Furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 산업의 사진 분석 및 에칭 프로세스를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 고급 에칭 장비는 IC 장치의 대용량 생산에 이상적입니다. 다양한 기능 크기와 여러 미크론 크기의 고정밀 패턴화를 제공합니다. 높은 수준의 정확성과 반복성 (repeatability) 을 갖춘 이 시스템은 정교하고 복잡한 구성요소를 에치 (etch) 하고 패턴화하는 비용 효율적인 방법을 제공합니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 는 IC 제조에 사용되는 실리콘, 이산화실리콘, 질화 실리콘 및 기타 재료를 포함하여 광범위한 재료를 식각 할 수 있습니다. 또한 서브 미크론에서 5 미크론까지의 다양한 기능을 사용할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 다양한 커스터마이징 가능 매개변수 (customizable parameters) 가 있으며, 각 애플리케이션에 대한 최적의 결과를 위해 etch 프로세스를 연마할 수 있습니다. 기계의 주요 구성 요소에는 3 가지 필수 요소 인 etcher/asher, gas delivery tool 및 pump unit이 포함됩니다. "에처 '/" 애셔 '는" 패턴' 을 원하는 재료 에 에칭 하는 데 사용 되는 장치 이다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 해리에 의해 물질을 제거하고 수소 가스와 결합하여 화학 혼합물을 형성하고, 이어서 에처/애셔 (etcher/asher) 에서 가열되어 에칭 과정을 가속시킨다. 가스 전달 자산은 원하는 가스로 etcher/asher에 연료를 공급합니다. 또한 "가스 '가 최적 의" 에칭' 결과 를 위하여 최적 의 농도 에 있게 한다. 펌프 장치 (pump unit) 는 밀폐 모델을 만드는 데 사용되며, 이처/애셔 (etcher/asher) 로 전달되기 전에 가스를 정확하게 측정 및 제어 할 수있다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TOKYO ELECTRON INDY PLUS) 는 반도체 업계의 사진 분석 및 에칭 프로세스에 이상적입니다. 정교한 컨트롤과 정확한 에칭 결과 (etching result) 를 통해 최적의 성능을 갖춘 다양한 정교한 구성 요소를 제조할 수 있습니다.
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