판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9388215

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 9388215
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Furnace, 12" Process: ALD High-K 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 고급 장비입니다. CMP (chemical-mechanical polishing) 장치라고도하는 에처/애셔 머신 (etcher/ascher machine) 은 반도체 엔지니어가 업계의 최전선에서 마이크로 전자 장치를 만들고 개발할 수 있도록 설계되었습니다. TEL INDYPLUS는 6 축, 고속, 정밀 기계 아키텍처를 가지고 있으며, 특정 과제를 해결하기 위해 처리량을 늘릴 수 있습니다. 고급 프로세스 기능과 사용자 정의 가능한 매개변수를 갖춘 모듈식 (modular) 설계를 활용하여 원하는 성능을 구현합니다. 또한 특정 프로세스 컴포넌트 (process component) 로 구성할 수 있으므로 엔지니어가 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 구성할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 고급 AS 제어 장치를 제공하여 매우 미세한 프로세스 튜닝을 허용합니다. 여기에는 자동화된 제어기 (ATF 도구라고도 함) 가 포함되어 있어, 이 과정에서 보다 뛰어난 제어성과 유연성을 제공합니다. 에셋은 또한 에치 (etch) 및 광택 (police) 프로세스의 다양한 매개변수를 감지하고 기록 할 수있는 고성능 센서 분석 모델을 특징으로합니다. TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 고급 냉각 장비 프로그램으로 인해 다운타임을 최소화하면서 대용량 생산을 제공합니다. 이 시스템을 통해 엔지니어는 프로세스를 자동화하고, 수작업을 줄이고, 생산성을 높이고, 수익률을 높일 수 있습니다. TEL INDY PLUS는 또한 고급 도량형 기능을 제공하여 정확하고 반복 가능한 프로세스 모니터링을 제공합니다. 고해상도 2 차 전자 현미경 (SEM) 및 EDX (모델) 와 같은 고급 도량형 방법을 사용하여 에칭 프로세스 결과를 모니터링 할 수 있습니다. 전반적으로 인디 플러스 (Indy Plus) 는 반도체 장치 제조를 위해 엔지니어들에게 매우 정확하고 신뢰할 수있는 프로세스를 제공하는 etcher/ascher 장치입니다. 모듈식 설계와 커스터마이징 가능한 구성 요소를 통해 사용자는 시스템을 특정 요구 사항에 맞게 구성할 수 있습니다. 고도의 프로세스 제어 도구, 자동 자산 제어, 냉각 프로그램 및 고급 도량형 기능은 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하므로 TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TEL/TOKYO INDY PLUS) 는 시장에서 가장 다양한 에처/애셔 시스템 중 하나입니다.
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