판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9377463

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 EUV 포토 마스크 공백을 전문으로하는 에처/애셔입니다. 리토 그래피 용 EUV 펠리클에 EUV 포토 마스크 블랭크를 정확하게 에치하고 포장하는 데 사용됩니다. 이 장치는 에치 (etch) 와 패킹 품질 (packing quality) 과 효율을 최대화하기 위해 다양한 고급 기능을 갖추고 있습니다. TEL INDYPLUS에는 멀티 빔 광학 정렬 장비가 장착되어 있습니다. 이 첨단 기술 은 정밀도 로 "펠리클 '위 에" 포토마스크' 공백 을 정확 하게 배치 해 준다. 또한 각 블랭크 (blank) 별로 개별 정렬 데이터를 생성할 수 있으므로 여러 블랭킷에 대해 매우 정확한 정렬을 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 또한 고압, 저압 및 저전압 플라즈마 에치 챔버를 갖추고 있습니다. 이 챔버는 시간이 지남에 따라 최소한의 로딩으로 초고 에칭 속도를 낼 수 있습니다. 고급 프로세스를 통해 도쿄 전자 인디 플러스 (TOKYO ELECTRON INDYPLUS) 는 저중력 또는 저온 공정을 실행할 경우에도 매우 일관된 에칭 결과를 얻을 수 있습니다. 마지막으로 TOKYO ELECTRON Indy Plus는 전문 EUV 펠리클 포장 기술을 통합했습니다. 이 기술 은 "마스크 '를" 펠리클' 위 에 정확 하게 포장 하고 위치 를 정하여 매우 균일 하고 정확 한 공백 을 포장 한다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS에는 다수의 마스크를 자동으로 포장하기위한 자동 포장 및 정렬 장치가 장착 될 수 있습니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS Etcher/asher는 EUV 펠리클에 정확하게 정렬되고 포장 된 고품질 EUV 포토 마스크 블랭크를 생성 할 수있는 고급형 장치입니다. 이 장치에는 멀티 빔 광학 정렬 기계, 강력한 플라즈마 에치 챔버 및 특수 EUV 펠리클 포장 기술이 있습니다. 이러한 모든 기능은 고유하고 고급 에칭 (etching) 및 포장 경험을 제공하기 위해 결합됩니다.