판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375631

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 응용 분야에 사용되는 고급 에처/애셔입니다. 대형 Si, 화합물 또는 합금 웨이퍼를 높은 정밀도 및 속도로 처리하도록 설계된 멀티 챔버 장비입니다. TEL INDYPLUS의 고속 작동은 고급 DC/RF 전원 공급 장치 (공구에 필요한 최대 2,000 와트 전력) 에 의해 가능합니다. 또한, TOKYO ELECTRON INDY PLUS에는 고급 다중 가스 제어 시스템과 고급 가스 혼합 및 감지 장치가 있으며, 이는 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 보장합니다. 이 장비에는 정밀도 높은 고속 필름 두께 (High Speed Film Thickness) 모니터도 장착되어 있어 프로세스 제어가 정확합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 또한 자동 웨이퍼 처리 및 로딩을 제공하여 수동 작동 오류를 제거하고 운영자 피로를 줄입니다. 또한 고급 사전 클리닝 (pre-cleaning) 및 프로세스 제어 (process control) 옵션이 포함되어 있으므로 제어/일관성 있는 클리닝 및 사전 프로세스를 통해 해상도와 속도를 높일 수 있습니다. TEL INDY PLUS는 고급 웨이퍼 매핑 기능도 제공합니다. 이 고급 매핑 기술은 프로세스 개발 및 진화를 모니터링하는 자세한 프로세스 맵을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus는 또한 고급 인라인 도량형 머신을 갖추고 있으며, 이는 정확한 실시간 웨이퍼 데이터를 캡처하고 표시합니다. 마지막으로, INDY PLUS (INDY PLUS) 는 또한 신뢰할 수 있는 원격 서비스 도구 모니터링 및 원격 반응 제어 기능을 제공합니다. 이는 글로벌 지원 팀에서 제공합니다. 이를 통해 사용자는 자산 (Asset) 문제를 원격으로 진단하고 감지할 수 있으며, 이를 통해 사용자가 신속하고 효율적으로 응답할 수 있습니다. 전반적으로 TEL 인디 플러스 (TEL Indy Plus) 는 높은 정밀도와 속도로 대형 웨이퍼를 처리하도록 설계된 고급 멀티 챔버 에처/애셔 모델입니다. 하이엔드 DC/RF 전원 공급 장치, 고급 다중 가스 제어 장비, 고정밀 필름 모니터, 자동 웨이퍼 처리, 고급 웨이퍼 매핑 기능 및 고급 인라인 도량형 시스템이 포함됩니다. 또한 안정적인 원격 서비스 시스템 모니터 (Remote Service System Monitor) 및 원격 반응 제어 (Remote Reaction Control) 기능을 통해 사용자가 신속하고 효율적으로 응답할 수 있습니다.