판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375630

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 매우 정확하고 정확하도록 설계된 반도체 장치 제조를위한 혁신적인 에처/애셔입니다. 이 장비는 모든 etching 및/또는 ashing 프로세스의 고급 데이터 제어, 자동 샘플 전송, 실시간 모니터링을 활용합니다. TEL INDYPLUS는 단일 웨이퍼 및 배치 처리가 가능하며, 처리량은 시간당 최대 1000 웨이퍼입니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 정확한 온도 조절 (50 ° C ~ 500 ° C) 과 에칭/애싱 챔버 표면 전체에 걸쳐 우수한 균일성을 갖춘 고도로 통제 된 열 환경을 제공합니다. 이 시스템은 또한 화학 전달 제어를 제공하며, 반응성 가스의 정확한 전달 및 에칭/애싱 화학이 특징입니다. 이를 통해 결과의 최대 균일성과 반복 가능성이 보장됩니다. 인디 플러스 (INDYPLUS) 는 에칭 및/또는 애싱 (ashing) 에 사용되는 이온의 에너지 프로파일을 매우 정확하게 조정 할 수있는 특수 에너지원을 갖추고 있습니다. 이를 통해 에치/애쉬 시간 (etch/ash time), 이방성 (anisotropy) 및 프로파일 롤오프 (profile roll-off) 간의 튜닝이 향상되어 에칭/애싱 프로세스의 제어가 향상됩니다. 이 기능을 사용하면 에칭/어싱 (etching/ashing) 프로세스를 보다 효과적으로 제어할 수 있어 정확성과 반복성이 향상됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS에는 전체 웨이퍼에서 균일 한 에칭/애싱을위한 정확한 웨이퍼 회전을 제공하기 위해 자동 스핀 웨이퍼 스테이션이 포함되어 있습니다. 이 장치는 또한 효율적인 샘플 전송을 위해 자동 로드 잠금 전송 챔버를 사용합니다. 이렇게 하면 수동 샘플 로드/언로드 작업이 필요 없으며, 각 샘플에서 원하는 에칭/어싱 (etching/ashing) 프로세스가 수행됩니다. INDY PLUS는 사용자 친화적입니다. 풀 컬러 그래픽 LCD 사용자 인터페이스가 장착되어 있어 프로그램 생성 및 에칭/애싱 (etching/ashing) 매개변수를 쉽게 수정할 수 있습니다. 따라서 단일 웨이퍼 및 일괄 처리를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 마지막으로 Indy Plus는 양질의 고객 지원 서비스를 통해 지원됩니다. 이 기계는 숙련된 서비스 기술자 (Service Technician) 로 구성된 대규모 팀이 완벽하게 지원하며, 이를 통해 문제가 발생할 경우 즉각적인 지원을 받을 수 있습니다. TEL 은 또한 포괄적인 교육/인증 프로그램을 제공하며, 최적의 결과를 위해 툴을 최적으로 활용할 수 있도록 필요한 지원을 제공합니다.