판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375629

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 제작 산업의 다양한 응용 분야에 이상적인 많은 기능을 갖춘 에처/애셔입니다. 반도체 제조를 위해 효과적이고 효율적인 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 레지스트 및 기타 재료를 웨이퍼에서 제거하기 위해 물리/화학 에칭 및 애싱 (ashing) 에 사용될 수있는 멀티 스테이션 에처/애셔 (multi-station etcher/asher) 입니다. 텔 인디플러스 (TEL INDYPLUS) 장비는 오염이 없는 효율적이고 안정적인 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 원하는 레이어의 정확한 에칭 (etching) 과 재싱 (ashing) 을 보장하는 여러 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능에는 이동 방향, 선 속도, 높이를 정확하게 제어 할 수있는 고정밀 컨베이어 장치 (High-Precision Conveyor Unit) 가 포함됩니다. 이 기계에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 전체를 제어하는 데 사용할 수있는 강력한 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 컨트롤러를 사용하여 온도, 압력, 가스 흐름 등 다양한 매개변수를 모니터링하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS에는 열 반응 공정 챔버 (thermal reaction process chamber) 및 기판 회전기를 포함한 여러 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 열 반응 공정 챔버 (thermal reaction process chamber) 는 에칭 및 재싱을위한 최적의 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 고온을 생성하고 원하는 레이어를 제거할 수 있습니다 (영문). 기판 회전기는 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 수행하는 동안 최대 균질성과 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. TEL INDY PLUS는 유전체뿐만 아니라 금속 및 폴리 실리콘 층을 에칭 및 애싱 할 수 있습니다. 금속 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을위한 특수 에칭 가스가 장착되어 있으며, 이온 이식 공정을 수행 할 수도 있습니다. 이 도구는 높은 수준의 정확성과 재현성 (reprodibility) 을 보장하도록 설계되었으며, 긴급 상황 (Emergency Shutoff Asset) 을 포함하여 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 이 모델은 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 호환되며, 그래픽 사용자 인터페이스로 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 또한 데이터 로깅 (data logging) 장비가 장착되어 있어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 기록을 검토할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 성능을 유지하기 위해 쉽게 교체/수리할 수 있는 부품 (부품) 이 장착되어 있으므로 긴 서비스 수명 (Service Life) 을 보장할 수 있도록 설계되었습니다. 인디 플러스 (Indy Plus) 는 반도체 제조 산업의 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. 견고한 설계, 안정성, 사용자 친화적인 기능을 갖춘 이 제품은 최적의 결과를 제공하는 안정적인 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제공합니다.