판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375627
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 습식 화학 가공을 사용하는 기질의 고급 정밀 에칭을 위해 설계된 최고의 에처/애셔입니다. 반도체 생산, MEMS 제조, 마이크로 컴포넌트 제작 등 다양한 산업 부문에서 널리 사용되고 있습니다. TEL INDYPLUS는 photoresist pre-treatment 및 post-treatment, 기질 에칭 및 전기없는 금속 증착과 같은 프로세스를 위해 설계되었습니다. 도쿄 일렉트로닉 인디 플러스 (TOKYO ELECTRON INDY PLUS) 는 에칭 (etching) 프로세스를 보다 효과적으로 제어하면서 정확성과 생산성을 높이는 다양한 기능과 기능을 갖추고 있습니다. 독점적 인 건식 혈장 전 처리는 에칭 전에 균일하고 손상되지 않은 기질을 보장합니다. RF 전원 발전기 (power generator) 는 에칭 프로세스의 정확한 전원 수준을 제공하여 생산성과 정밀도를 향상시킵니다. "에처 '위 에 직접 설치 되는" 디지털 게이지' 는 원하는 결과 에 따라 압력 과 온도 를 유지 한다. TOKYO ELECTRON Indy Plus는 또한 Permeation Monitor를 통해 사용자가 에칭 프로세스를 실시간으로 모니터링 할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 온도, 압력, 유속 (flow rate) 을 모니터링하여 필요에 따라 에칭 프로세스를 조정할 수 있습니다. 에처는 또한 특허를 받은 환경 모니터 (Environment Monitor) 를 장착하여 에칭 대기 중 중요한 가스의 존재를 지속적으로 측정합니다. 이것은 위험한 건조제 증기없이 적절한 에칭 조건을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 여러 가지 안전 기능도 제공합니다. 자체 전해질 억제 시스템은 누출 및 교차 오염을 방지하는 한편, 인원이 부식성 액체와 접촉하지 않도록 보호합니다. "노즐 '은 가장 높은 산업 안전 표준 을 염두 에 두고 설계 되어 있어서" 에칭' "에이전트 '와" 에칭' 사이 의 접촉 이 없다. INDYPLUS는 심각한 에칭 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 고정밀도 (High Precision), 단단한 제어 (Tight Control), 안전 기능 (Safety Features) 및 고급 기술 기능의 조합으로 모든 상용 에칭 어플리케이션에 완벽한 선택이 가능합니다.
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