판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9358355

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 습식 에칭 및 건식 에칭 공정에 종종 사용되는 에처/애셔입니다. TEL INDYPLUS는 2 개의 공정 챔버와 1 개의 전송 챔버가있는 3 구역 장비이며, 각 공정 챔버에는 독립적 인 플라즈마 소스와 대피 가능한 셔터가 있습니다. 도쿄 일렉트로닉 인디 플러스 (TOKYO ELECTRON INDY PLUS) 는 연구 및 산업 환경에 적합하며, 최대 200mm 크기의 기판을 처리하는 데 사용될 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDYPLUS의 프로세스 제어 시스템을 사용하면 에칭 레시피를 쉽게 설정하고 전환 할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 가스와 호환되므로 습식 에칭, 리에 (RIE), 금속 에칭, 내부 레이어 에칭, 웨이퍼 백사이드 에칭 등 다양한 에칭 프로세스가 가능합니다. 에치 프로세스는 또한 챔버 압력, 플라즈마 파워, 프로세스 타임, 가스 흐름 등의 사용자정의 프로세스 조건을 생성하도록 사용자 정의 할 수 있습니다. 인디 플러스 (Indy Plus) 는 프로그래밍 가능한 셔터를 제공하여 기판을 에칭 조건과 상호 연관시킬 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 기판 특성에 따라 에치 프로세스를 최적화 할 수 있습니다 (예: 유전율, 두께, 재료 유형 등). TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 온도 조절을 특징으로하여 에칭 과정에서 온도 유지 관리를 허용합니다. 이를 통해 공정 온도 (process temperature) 를 정확하게 제어하여 일관된 에칭 결과를 보장하여 재료의 변화를 최소화합니다. TEL Indy Plus는 호환성 및 프로세스 모니터링을 위해 잘 장착되어 있습니다. 이 시스템은 TEL TEM 컨트롤러와 호환되며, Etch Rate와 같은 에칭 품질에 대한 프로세스 내 모니터링을 제공합니다. 또한, INDY PLUS는 웨이퍼 전송 프로토콜을 지원하며, 이를 통해 챔버 외부에서 기판을 전송하여 에치 후 분석을 할 수 있습니다. 마지막으로, INDYPLUS는 안전성을 위해 설계되었으며, 유출 방지 셔터 설계뿐만 아니라 원격 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼이 특징입니다. TEL INDY PLUS는 신뢰할 수있는 에칭 결과, 프로세스 제어 및 프로세스 모니터링을 제공하는 고급 에처/애셔입니다. 다재다능성은 Wet Etching에서 Wafer Backside Etching 등에 이르기까지 많은 연구 및 산업 응용 분야에 유용한 도구입니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS (TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS) 는 고급 안전 기능을 통해 정확성과 신뢰성으로 에치를 원하는 사람들을 위한 도구의 힘입니다.