판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9353402
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판매
ID: 9353402
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
Furnace, 12"
CIM: SECS GEM
Process: SIBCN
KHI Handler system
Factory interface: (4) FOUPs
Option: RCU 208VAC UPS
2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 제조업체에 고성능, 비용 효율적인 처리 및 제조 기능을 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher 솔루션입니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 는 다양한 산업에서 다양한 재료와 부품을 처리 할 수 있습니다. 반도체에서 의약품까지, TOKYO ELECTRON INDY PLUS의 정확한 디자인은 뛰어난 일관성과 정확성을 유지하는 상세하고 반복 가능한 에치/애쉬 프로세스를 허용합니다. TEL Indy Plus는 고정밀 선형 액추에이터 기술과 TEL 자동화 장비와 같은 최신 업계 최고의 프로세스 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 시스템을 사용하면 보안 인터넷 연결 (Secure Internet Connection) 을 통해 모든 위치에서 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한 데이터 분석, 성능 추적, 프로세스 자동화 등을 통해 처리 시간 및 오류를 줄일 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 고급 처리량과 정확도를 제공합니다. 에치/애쉬 공정 (etch/ash process) 은 강력한 저데시벨 터보 분자 펌프 머신 (turbomolecular pump machine) 에 의해 관리되므로 에치/애쉬 공정을 정확하게 제어하고 반복 가능한 정확도로 완료할 수 있습니다. TEL INDY PLUS '내장 습도 및 가스 흐름 센서는 모든 컴포넌트 및 재료가 프로세스에 필요한 정확한 매개변수로 처리되도록 합니다. 안전과 편의를 위해 TOKYO ELECTRON Indy Plus는 예기치 않은 비상 사태를 위해 etch/ash 프로세스를 자동으로 중지하는 Emergency Stop 도구를 사용합니다. 인디 플러스 (Indy Plus) 는 또한 보호 창 커버를 사용하여 플라즈마 및 반응물 가스에 대한 보호 계층을 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 또한 AUTO 모드를 포함하여 다양한 etch/ash 모드를 제공합니다. AUTO 모드는 etch/ash 프로세스를 더 면밀히 모니터링하고 성능을 최적화하며, 사용자 정의 및 제어를 강화하는 수동 모드를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS에는 또한 사용자가 나중에 사용할 수있는 다양한 에치/애쉬 프로세스를 저장할 수있는 RMLE (Recipe Makes Life Easly) 자산 및 Etch/ash 작동을 효율적으로 보장하는 Time-Rated (TR) 모드를 갖춘 다양한 처리 보조 장치가 있습니다. 전반적으로 INDY PLUS (INDY PLUS) 는 제조업체에 고성능, 비용 효율적인 프로세싱 및 제조 기능을 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher 솔루션입니다. 고급 선형 액추에이터 기술, 공정 제어 시스템, 다양한 에치/애쉬 모드 (etch/ash modes) 및 처리 보조 장치를 활용하는 INDYPLUS는 고급 에치/애쉬 솔루션을 찾는 사람들에게 탁월한 선택입니다.
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