판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9353223

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 TEL (TOKYO ELECTRON) 에서 제조 한 에처/애셔 장비로, 전자장치의 고급, 본격적인 생산을 위해 설계되었습니다. PVD (Physical Vapor Deposition) 및 다양한 재료, 특히 반도체 기반 및 유기 기반 재료로 만든 장치의 에칭에 이상적입니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 는 이중 소스 시스템을 특징으로하며, 동시에 기판 양면을 동시에 코팅할 수 있습니다. (PHP 3 = 3.0.6, PHP 4) TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 또한 나중에 사용하기 위해 쉽게 사전 프로그래밍 및 저장 할 수있는 여러 레시피를 갖추고 있습니다. 이를 통해 일관된 디바이스 생산에 필요한 etch 매개 변수를 정확하게 반복할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 시도 및 신뢰할 수있는 동기 챔버 에칭 기술을 사용하여 전체 기판에 균일 한 에칭을 보장합니다. 이를 통해 에칭 (etched) 소재의 불필요한 잔기가 최소로 유지되고 양면 에칭 (etching) 기법으로 인해 에칭에 필요한 시간이 줄어듭니다. 또한 장치 내의 APC (Advanced Process Control) 기능은 사용자에게 etch 프로세스를 완전히 제어하여 압력, 압력 구배, 챔버 온도, 온도 구배 등의 에칭 변수를 의도적으로 튜닝 할 수 있습니다. 이 기계는 마무리 미세 조정 (fine-tuning) 을 위해 습식 (wet) 및 건식 (dry) 클리닝 프로세스를 사용하는 등 다양한 사후 처리 옵션을 제공합니다. 리프트 핀 (lift pin) 및 고 종비 트렌치 (high-aspect-ratio trenching) 와 같은 다른 기능도 추가로 개선이 가능합니다. 인디 플러스 (INDYPLUS) 에는 인터 록 (interlock) 과 진공 경보 도구 (vacuum warning tool) 와 같은 안전 기능이 내장되어 있어 진공이 특정 사전 설정된 수준을 초과하도록 경고합니다. 전체 TEL Indy Plus는 고급 전자 장치 생산에 이상적인 자산입니다. 신뢰성이 높고 효율성이 높으며, 다양한 기능을 제공하여 이러한 디바이스의 시간/시간 (time/time) 을 최적화하고 반복적으로 생산할 수 있습니다.