판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9315271

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 에처/애셔입니다. 이 플랫폼은 여러 개의 챔버 (chamber) 와 웨이퍼 (wafer) 전송 시스템을 포함하는 프로세스 모듈 플랫폼을 기반으로 하는 고급 에치 플랫폼입니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 모델은 애셔 (asher) 및 에처 (etcher) 로 사용될 수 있으며 반도체 장치에 대한 정밀 에치 처리의 다양한 요구와 일치하도록 다른 매개변수로 작동 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 50-350W 범위의 출력을 통해 최대 850-의 열을 가동하는 높은 처리량 100mm 처리를 제공합니다. 이를 통해 원하는 온도에서 기판 생산에 대한 최적의 활용이 가능합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 표면에 +/-43.5nm의 표적 기질 균일성을 갖습니다. "와퍼 '온도 를 감시 하는 광학" 센서', 고해상도 배경 "모니터 ', 잠재적 인 방사선 및 기타 위험 으로부터 인원 을 보호 하는 갑옷 경비대 등, 자동화 된 연동 및 안전 기능 을 갖추고 있다. TOKYO ELECTRON Indy Plus는 CVD 에치 기술을 사용합니다. 이 기술은 실리콘, 산화물, 질화물 및 기타 재료의 박막 층을 에칭하는 데 사용됩니다. 단일 마스크로 고해상도, 깊고 균일 한 참호를 생산할 수 있으며 웨이퍼 (wafer) 에서 웨이퍼 (wafer) 까지 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. TEL INDY PLUS에는 여러 가지 전문 프로세스가 있습니다. 단방향 클리닝 공정으로 입자 프로파일을 캡처하고, 플라즈마 강화 공정으로 리소그래피 패턴화 (lithography patterning) 결과를 개선하고, 에칭 손상을 줄이기 위해 표면을 어닐링 (annealing) 할 수 있습니다. 인디 플러스 (INDY PLUS) 는 또한 빠른 프로세스 설정 및 안정적인 에치 프로세스를 허용하는 가스 전달 시스템을 제공합니다. TEL Indy Plus는 다른 웨이퍼 크기와 유형을 처리 할 수 있습니다. 최대 직경 200mm, 최대 웨이퍼 무게 1.5kg의 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 사파이어 (sapphire) 와 산화물 웨이퍼 (oxide wafer) 와 같은 민감하고 비싼 기판을 처리 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 또한 온도 변화, 누수가 적은 저압 캐리어 및 프로세스 제어를 위한 RF 생성기를 줄이기 위해 흑연 단계와 척을 가지고 있습니다. INDYPLUS는 뛰어난 프로세스 품질 기능을 갖추고 있습니다. 우회 주파수 제어, 제한 주파수 제어, 오실로스코프 기능과 같은 기능이 있습니다. 또한 향상된 이미징을위한 다양한 광원 구성 (Light Source Configuration) 과 라인 너비 변형, Etch Rate 변형 및 오염을 감지하는 정교한 비전 소프트웨어 (Vision Software) 를 제공합니다. Indy Plus etcher/asher는 반도체 장치의 정밀 에치 처리를위한 강력하고 고급 에치 프로세서입니다. 가장 섬세하고 어려운 기판을 빠르고 신뢰할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 실리콘, 산화물, 질화물, HF, CF 및 포토 esist와 같은 에칭 프로세스에 이상적입니다. 높은 처리량, 고해상도 에칭 및 균일성, 다양한 기판 크기와 유형, 가스 전달 시스템, 향상된 이미징을 위한 정교한 비전 소프트웨어 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다.