판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9296775

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 웨이퍼 생산에서 고해상도 마이크로 패턴 생산을위한 에처/애셔입니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 는 탁월한 정확성과 반복성으로 패턴을 20nm까지 에치하여 정밀한 마이크로 패턴 전송을 가능하게하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS에는 에치 깊이 및 패턴 크기를 제어 할 수있는 제어 가능한 기능이 있습니다. 가스 공급, 압력, 유속, 에치 레이트, 린싱, 플라즈마 에치 패턴 등의 깊이 제어 매개변수를 제어 할 수 있습니다. 사용자는 레시피 함수 온도 (recipe function temperation) 를 통해 에치 깊이 (etch depth) 와 패턴 (pattern) 크기의 균형을 맞추고 조정하여 원하는 마이크로 패턴을 달성할 수 있습니다. 이 etcher/asher에는 실시간 etch/wash 시간 및 온도 모니터링을위한 디지털 디스플레이도 포함되어 있습니다. 인디 플러스 에처/애셔 (INDYPLUS etcher/asher) 는 또한 최고의 안전성과 성능을 보장하도록 설계된 고급 여과 시스템을 갖춘 통합 배기 장비를 제공합니다. 내장 배기 필터는 유해 물질 누출을 방지하면서 가스 배출, 냄새, 먼지를 제어합니다. 또한, 사용자는 가스 배기 (gas exhaust) 및 열 전달 (heat transfer) 과 관련된 배기 단위 매개변수를 제어할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus에는 산성 용액의 과압 및 누출을 방지하는 내장 안전 기계가 제공됩니다. 또한 [안전 도구] 를 사용하면 에치 심도, 패턴 크기, 대비를 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한 가스 누출, 물 누출, 정전 등을 신속하게 감지할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS Etcher/Asher는 다양한 기능과 제어 기능을 제공하는 효율적인 생산 도구입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 산업 및 연구 응용의 요구에 맞게 설계되었으며, 최대한의 안전으로 정확한 결과를 제공하는 에처/와셔를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.