판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9267594

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 다양한 웨이퍼 처리 작업을 수행하도록 설계된 etcher/asher입니다. 다양한 wafer 기반 장치를 만드는 데 도움이 되는 기능을 갖추고 있습니다. 건조 에칭 공정을 사용하여 실리콘, 산화물, 질화물, 금속, 중합체 등 다양한 물질의 층을 효과적이고 효율적으로 식각 할 수 있습니다. 이방성 에치 속도는 레이어 두께를 정확하게 제어 할 수 있도록 보장합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 가장 큰 지역에서 화학적 꼬리와 균일 한 패턴을 줄이기 위해 설계되었습니다. 에칭 프로세스는 완전히 자동화되고, 제어 가능하며, 온도가 낮은 환경에서 완료됩니다. 장비는 에처 챔버, 펌프 챔버, 가스 박스 및 배기 시스템으로 구성됩니다. 약실 은 표적 인 온도 로 가열 되고, "가스 '혼합물 을" 에칭' 실 로 공급 한다. 그런 다음, "에칭 '과정 을 일관성 있게 유지 하기 위해 필요 하다면, 약실 의 온도 를 조정 한다. 공정이 실행되는 동안 압력 (pressure) 과 흐름 속도 (flow rate) 를 조정하여 에칭 속도를 정확하게 제어할 수 있습니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 는 또한 건식 식각 방법을 특징으로하며, 이는 추가 습식 공정이 필요하지 않습니다. 이로 인해 제조업체의 비용 절감, 환경적 이점 (environmental benefit) 이 발생합니다. 또한, 습식 에칭 사이클 (etching cycle) 이 완료될 때까지 기다릴 필요가 없기 때문에 제조 프로세스가 가속화됩니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 자동 모니터링 장치를 포함한 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 기계는 에칭 (etching) 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 비정상적인 상황이 발생할 경우 연산자에게 경고를 보냅니다. 또한, 인디 플러스 (Indy Plus) 는 제조 공정의 완전한 추적 가능성을 허용하여 고객이 프로세스 전체에서 사용되는 에칭 절차, 사용되는 재료, 매개변수를 검토 할 수 있도록 합니다. 이를 통해 프로세스 추적 (process tracking) 을 정확하게 수행하여 최상의 품질 표준을 충족할 수 있습니다. 전반적으로 INDYPLUS는 정밀도, 신뢰성 및 편의성을 제공하는 에처/애셔입니다. 자동화된 기능을 통해 일관되고 품질이 높은 매우 정확하고 정확한 웨이퍼 (wafer) 기반 제품을 생산할 수 있습니다. 그 안전 기능은 또한 다양한 웨이퍼 기반 장치 제조에 이상적인 에처/애셔 (etcher/asher) 가됩니다.