판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9261886

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 최첨단 산업용 드라이 에칭 장비로, 에치 정밀도, 처리량 및 소유 비용으로 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 반도체 사망 및 기타 장치의 심해, 트렌치 채우기 (trench filling) 및 측면 에칭을위한 것입니다. 고급 챔버 디자인 (chamber design) 을 통해 고급 플라즈마 기술과 뛰어난 프로세스 반복성을 제공합니다. 이 장치는 산화물, 폴리 -Si, 질화물, Parylene/Pary, Sputtering 및 화학 증발 등 광범위한 공정 창을 지원할 수 있습니다. 마이크로 팩션 챔버 (Microfabrication Chamber) 는 다단계 하이테크 터치 스크린 컨트롤과 통합 레시피 프로그래밍 머신으로 완전히 자동화되었습니다. TEL INDYPLUS는 고해상도, 고압 챔버, 고온 웨이퍼 기판 홀더, 고급 열 처리 용광로 등 최신 기술을 기반으로합니다. 또한 깨끗하고 일관된 에치 프로세스를 촉진하는 폐쇄 루프 가스 전달 도구 (closed loop gas delivery tool) 가 있습니다. LBPP (Laser Beam Profiler) 에셋은 표면 전체에 걸쳐 정확하고 균일한 깊이 제어를 통해 매우 정밀한 에칭을 허용합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 또한 ORP (Advanced Optical Reflectometer) 및 OQP (Optimizer) 시스템을 사용하여 에칭 프로세스의 품질에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 또한 TEL INDY PLUS 모델에는 통합 진단 장비가 포함되어 있어 시스템 오류를 실시간으로 식별할 수 있습니다. 이 진단 장치는 운영자와 엔지니어가 프로세스 문제를 빠르고 정확하게 식별하도록 도와줍니다. 인디 플러스 에칭 머신 (INDYPLUS etching machine) 의 성능은 최고의 정밀도와 정확도를 제공하여 정확하고 반복 가능한 에칭 결과를 제공합니다. 단일 (single) 및 다중 (multi) 레이어 에칭을 모두 지원하는 완벽한 툴로서 업계 최고의 정확성과 일관성을 필요로 하는 고객에게 이상적인 에칭 자산입니다.