판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9250264

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 리소그래피 이전의 고성능 에처/애셔입니다. "실리콘 '이나 화합물 의 반도체" 웨이퍼' 에서 산화물 층 을 효율적 으로 제거 하는 한편, 저항층 을 제거 할 수 있도록 만들어졌다. 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 는 웨이퍼의 상단 및 하단 표면 사이의 균일성 (unifority) 과 같은 다양한 기능을 염두에두고 설계되었으며, 입자 오염을 일으키지 않고 돌진 성능을 제어 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS에는 직접 리플로우 하향식 이중 주파수 플라즈마 소스가 있습니다. 이 설계는 웨이퍼 (wafer) 의 위쪽 및 아래쪽 표면에 균일 한 에칭 효과를 허용하여 처리량이 향상되고 정확도가 높아집니다. 이 제품에는 고급 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 프로세스 제어 시스템이 장착되어 있어 정확하고 안정적인 에칭 및 애싱 성능을 제공합니다. 또한, 반응 챔버에 압력과 온도에 대한 임베디드 모니터링 시스템이 있습니다. 반응 챔버에는 다양한 에칭/애싱 프로세스를위한 독특한 전원 공급 장치가 있습니다. 이를 통해 사용자는 에칭 레이어 (etching layer) 나 필름 (film), 서피스 클리닝 (surface cleaning), 잔류 제거 (residue removal) 와 같은 다양한 프로세스 용도로 원하는 플라즈마 전원을 선택할 수 있습니다. 또한 TEL INDY PLUS (TEL INDY PLUS) 는 사고 및 사망자를 예방하고 제품에 대한 잠재적 피해를 줄이는 안전 기능을 내장하고 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS에는 처리 가스의 저압, 저전력 및 타이밍 제어 전달도 제공됩니다. 이렇게 하면 에칭/어싱 (etching/ashing) 과정에서 웨이퍼에 손상이 발생하지 않습니다. 표면에 잔류 물 (residue) 이 남지 않은 채 매우 효율적인 방식으로 다양한 기질을 처리 할 수 있습니다. 또한 사용자의 요구에 맞게 빠르고 안정적인 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 일치시킵니다. 결론적으로, Indy Plus는 실리콘 및 화합물 반도체 웨이퍼에 다재다능하고 효율적인 etcher/asher입니다. 강력한 플라즈마 소스 (plasma source), 직접 리플로우 하향식 설계 (direct replow top-down design) 및 내장형 안전 (safety) 기능을 통해 일관성 있고 균일한 결과를 얻을 수 있습니다.