판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9235034
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 전자 전문 회사 인 TEL에서 제조 한 asher/etcher입니다. 이 혁신적인 장치는 웨이퍼 및 기판에서 정밀 에칭 프로세스를 수행하도록 설계되었습니다. 디스크 로드 시스템 (disk loading system) 을 통해 빠르고 효율적으로 디스크를 로드하고 언로드할 수 있습니다. 또한 TEL INDYPLUS에는 자동 매개변수 제어 (automated parameter control) 및 자동 조정 (auto-tuning) 기능이 장착되어 있어 생산 수율을 극대화하기 위해 특정 에칭 프로세스에 최적화되어 있습니다. "에처 '는 여러 가지" 에칭 가스' 를 사용 하여 최고 의 질 의 결과 를 얻게 한다. "토오쿄오 '" 인디 플러스' 는 가열 된 "플래튼 '을 이용 하여 표본 과" 웨이퍼' 가 식각 과정 을 통하여 필요 한 온도 를 유지 하도록 한다. 이는 온도 변동 또는 열 손상을 방지하고 작동 중 열 충격 (thermal shock) 의 가능성을 제거하는 데 도움이됩니다. 또한, 텔 인디 플러스 (TEL INDY PLUS) 에는 에칭 중 대기를 유지하고 불순물에 노출되지 않도록 진공 장치가 있습니다. 이 장치는 수동 (manual) 또는 원격 (remote) 방법을 통해 작동 할 수있는 정교한 제어 시스템을 자랑합니다. 컨트롤러는 다양한 매개 변수를 사용하여 각 에칭 레시피 (etching recipe) 에 대한 매개 변수를 정확하게 설정하고 전체 진행 상황을 모니터링합니다. 또한, 다른 프로세스 및 측정 데이터를 계산하고 저장할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 에칭 결과를 비교, 분석할 수 있습니다. 지속적인 분석을 통해, 이 장치는 프로세스 성능과 제품 품질을 지속적으로 향상시킬 수 있습니다. 인디 플러스 (INDYPLUS) 는 또한 사용자가 과열 방지 시스템, 압력 감지 기능, 과부하 지표 등 모든 잠재적 위험으로부터 보호하기 위해 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 불필요한 사고가 발생하지 않고 프로세스가 원활하게 실행됩니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 필요한 오염 규정을 준수하기 때문에 탁월한 환경 보호 기능을 제공합니다. 요약하면, TEL Indy Plus는 고급적이고 정확하며 신뢰할 수있는 asher/etcher입니다. 그 특유의 특징과 탁월한 안전 측정은 다양한 반도체 (semiconductor) 및 기판 에칭 (Etching) 작업에 사용하기 좋은 선택입니다.
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