판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9229580

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 높은 생산성과 신뢰성을 위해 특별히 설계된 최첨단 에처입니다. 식각 장비의 주요 제조업체 중 하나로, TEL은 우수한 성능을 갖춘 고품질 기계를 제공하는 것으로 유명합니다. TEL INDYPLUS는 빠른 처리량 및 안정적인 운영을 제공하는 데 중점을 두고 제조됩니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 다재다능한 에처입니다. 단일 단계 (single-step) 또는 다중 단계 에칭 (multi-step etching) 기술을 사용하여 정확한 피쳐 크기 제어를 통해 매우 얇고 높은 종횡비 구조를 생성할 수 있습니다. DRIE (deep reactive-ion-etching) 및 드라이 에칭과 같은 비 접촉 프로세스를 위해 설계되었습니다. 이 기계는 또한 대용량 박막 증착뿐만 아니라, 종횡비 기능이 높은 기판의 높은 정확도 패턴을 가능하게합니다. 진공 호환성은 나놀리토 그래피 프로세스에 적합합니다. TEL 인디 플러스 (Indy Plus) 는 운영자에게 안전한 작업 환경을 보장하기 위해 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 전기 충격으로부터 보호하기 위해 내장 전압 모니터링 장비를 갖추고 있습니다. 적절한 진공 수준을 유지하기 위해 유지 보수, 노즐 스타일의 대피 밸브도 있습니다. 또한, 보호 후드 (protection hoood) 는 버튼 밀기로 작동 할 수 있으며, 기계가동하는 동안 운영자가 손을 자유롭게 유지할 수 있습니다. INDYPLUS는 고급 프로세스 기능을 사용하여 탁월한 에칭 성능을 제공합니다. 그것 의 약실 은 효율성 이 높아서, "에너지 '소모 를 줄여 식각 과정 을 완수 할 수 있다. 이 챔버 (Chamber) 는 또한 광범위한 프로세스 창 기능을 위해 설계되었으며, 다양한 기판으로 작동할 수있는 유연성을 제공합니다. 또한, 고급 제어 시스템은 에칭 프로세스에 대한 정확한 실시간 제어를 제공합니다. 온도 조절 장치를 사용하면 에칭 매개변수 (예: 압력, 흐름 속도, RF 전원 공급 장치) 를 정확하게 제어할 수도 있습니다. TEL INDY PLUS는 사용자에게 확장 된 에칭 균일 성, 신뢰성, 처리량 및 증착 제어를 제공합니다. SOI Application, Ni Nano-Wire Application, Perforation & Cut-off/Passivation, PZT/Ferroelectric Etching, MEMS/NEMS Etching 및 Nano Trenching과 같은 많은 에칭 관련 작업에서 인기있는 선택입니다. 이 머신은 우수한 결과를 가진 고급 에칭 (etching) 프로세스를 수행하려는 사용자에게 이상적입니다.