판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9211650

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 유연한 최첨단 클라이언트 프로세스 etcher입니다. 그것은 마이크로 일렉트로닉스 및 기타 응용 프로그램의 제조를 위해 다양한 라미네이트, 기질 및 금속을 효과적으로 에치/분해합니다. 광범위한 기판 크기, 다양한 프로세스 조합, 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스, 고화질 (High-Fidelity) 해상도를 위한 인라인 (In-Line) 카메라 장비 등 다양한 프로세스 및 재료 기능을 갖추고 있습니다. TEL INDYPLUS는 TEL 고급 에칭 장비 중 가장 광범위한 프로세스 범위를 제공합니다. 이 범위에는 플라즈마 에칭, 에치 백, 습식 에칭 및 패턴이 포함됩니다. 이 도구는 또한 0.25 미크론에서 5 마이크로미터 사이의 광범위한 시스템 라미네이트 및 기판을 수용 할 수있는 유연성을 가지고 있습니다. 기판 에칭 기능은 특히 마이크로 일렉트로닉스 제조업체에 유익하며, 여기서 고해상도 패턴이 종종 사용됩니다. 사용이 간편한 사용자 인터페이스 (user interface) 는 사용자가 etch 프로세스의 모든 측면을 완벽하게 제어할 수 있도록 해줍니다. 매개변수 조정 및 반복 프로세스의 실행을 허용합니다. MaxVUE 도구 라이브러리는 완벽한 시뮬레이션에 유용한 광범위한 시계 옵션, 펄스 너비 (pulse width), RF 파워에 대한 액세스를 제공합니다. 인라인 카메라 장치 (In-line Camera Unit) 는 에치 프로세스를 광학적으로 측정할 뿐만 아니라 각 에칭 (Etched) 부품을 실시간으로 볼 수 있는 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 프로덕션 중에 CD (Critical-Dimension) 제어가 유지되도록 합니다. 이렇게 하면 "에칭 '프로세스 가 더욱 간단 해지고 전체 기판 에 걸친 진행 상태 를 모니터링 할 수 있게 된다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS 도구의 고급 진단에는 멀티 포인트 플라즈마 프로브 (Plasma Probe) 가 포함되어 있으며 전체 웨이퍼에서 CD 측정 및 확인을 가능하게합니다. 이 도구에는 에치 레이트 (etch rate) 가 사전 설정된 공차 범위 내에 남아 있는지 여부를 감지하는 기능도 있습니다. TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 다양한 에칭 요구에 적합합니다. 설치/운영이 용이하며, 광범위한 프로세스 기능을 통해 마이크로일렉트로닉스 (Microelectronics) 제작 및 기타 프로세스 제어 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다. 인라인 카메라 머신 (in-line camera machine), 고급 진단 (advanced diagnostics), 다양한 재료 및 프로세스 옵션을 통해 다양한 에칭 요구 사항을 완벽하게 선택할 수 있습니다.