판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9179439

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 연구 및 개발에 사용되는 애셔 (asher) 라고도하는 에처입니다. 이 장비는 완전히 자동화되어 있으며, 높은 수준의 공정 제어 (Process Control) 기능을 제공하여 반복 가능한 작동과 품질을 보장합니다. TEL INDYPLUS는 다양한 에칭 방법론을 지원하기 위해 고급 제어 기능과 높은 처리량을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 연구원들이 다양한 재료 및 장치 구조에 대한 에치 레시피 (etch recipe) 를 최적화하기 위해 프로세스 조건을 직접 수정할 수 있도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TOKYO INDY PLUS) 는 우수한 온도 조절을 제공하며, 안정된 작동 온도를 유지하여 정확도를 극대화하는 대용량 핫 척을 포함합니다. 이 장치에는 프로그래밍 가능한 해상도와 에칭 (etching) 프로세스 제어가 적용된 디지털 스마트 타이머 (digital smart timer) 가 있어 사용자에게 유연성과 정밀도가 향상됩니다. 6 개의 가스 입구를 갖춘 TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 광범위한 에칭 응용 분야에서 다중 가스 화학 및 가공 조건을 최적화 할 수 있습니다. 텔 인디 플러스 (TEL Indy Plus) 에는 에칭 과정에서 사용되는 가스 수를 관리하기 위해 전용 가스 배달기가 장착되어 있습니다. 이 가스 전달 도구는 웹 브라우저 인터페이스를 통해 원격으로 모니터링, 조정할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 또한 프로세스 신뢰성을 극대화하기 위해 압력, 온도, 흐름 및 기타 키 에칭 매개 변수의 실시간 트렌드 추적을 제공합니다. TEL INDY PLUS etcher는 다양한 기판 크기 및 로드 구성과 호환되도록 설계되었습니다. 대용량 로드 잠금 장치와 실행당 최대 6개의 로드 슬롯을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TEL/TOKYO INDY PLUS) 는 소형 및 대형 웨이퍼 실행을 위해 확장할 수 있습니다. 이 자산은 또한 다양한 안전 연동 (Safety Interlock), 경보 (Alarm) 및 모니터링 기술을 통해 모든 연구 환경에서 안전하고 효율적인 운영을 보장합니다. 다운타임을 최소화하고, 생산성을 최적화하여 성공적이고 반복 가능한 처리 (processing) 애플리케이션을 구현하도록 설계되었습니다. 인디 플러스 (INDY PLUS) 는 안정적이고 효율적인 에칭 모델로, 프로세스 제어를 완벽하게 수행하여 일관되고 재현이 가능한 결과를 제공합니다. 완벽하게 자동화되고 확장성이 뛰어난 이 장비는 다양한 연구 개발 연구소 (Research and Development Laboratories) 의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 고급 디지털 스마트 타이머 (digital smart timer) 와 정교한 가스 전달 시스템을 활용하는 인디 플러스 (Indy Plus) 는 에칭 프로세스에 최적의 선택입니다.