판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828776

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 생산성을 높이고 낭비를 줄이기 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 이 장치는 다양한 반도체 제조 공정의 요구에 적합한 대규모 에처 (etcher )/애셔 (asher) 입니다. 뛰어난 내열성과 균일성을 갖춘 높은 정확도 에칭/애싱 공정이 특징입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 나노 웨이퍼에서 대형 패널 웨이퍼 및 기타 고정밀 부품으로 처리 할 수 있습니다. 고유한 장비 설계를 통해 고성능 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스가 가능하며 빠른 주기 시간이 가능합니다. TEL INDYPLUS는 PID (비례 적분 미분) 프로세스를 통해 고급 온도 제어를 제공합니다. 따라서 여러 배치 간에 일관된 에칭/어싱 프로세스가 가능합니다. 건조 펌프는 최소 진공 오염을 보장하고 사용자의 안전을 보장합니다. 이 장치에는 N2, O2, CF4, HCC, NF3, CHF3, Ar, C4F8 및 O3과 같은 여러 가스를 사용할 수있는 가스 기타 시스템도 있습니다. 따라서 etcher/asher 는 사용자의 요구에 따라 다른 다양한 etching/ash 프로세스를 처리할 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 강력한 PC 기반 제어 장치를 통해 높은 정밀 프로세스 제어를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 사용자 지정 레시피를 만들고, 사용자 프로파일을 관리하고, 에칭/어싱 프로세스의 다양한 측면을 제어할 수 있습니다. 이 기계는 또한 에칭/어싱 프로세스의 성능에 대한 실시간 정보와 분석을 제공합니다. 이를 통해 운영자는 신속하게 문제를 진단하고, 프로세스 성능을 향상시키기 위해 조치를 취할 수 있습니다. INDYPLUS에는 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 가 포함되어 있습니다. GUI는 사용자에게 스케줄 지정, 모니터링, 에칭/어싱 (etching/ashing) 프로세스 설정 등의 다양한 기능을 제공합니다. 소프트웨어는 사용하기 쉽고, 다양한 사용자 정의 프로세스를 저장할 수 있습니다. 이 장치는 프로세스 매개변수를 분석하고 잠재적인 문제를 감지하는 다양한 진단 도구 (diagnostic tools) 도 제공합니다. 결론적으로 INDY PLUS (INDY PLUS) 는 생산성을 높이고 폐기물을 줄이는 훌륭한 기능을 갖춘 고급 etcher/asher입니다. 강력한 PID 제어 프로세스는 여러 배치 간에 일관된 에칭/어싱 프로세스를 보장합니다. 건조 펌프는 진공 오염을 줄이고, 가스 오인성 도구는 여러 가스를 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 사용자에게 친숙한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 프로세스 매개변수를 분석하는 다양한 진단 도구 (Diagnostic Tools) 도 포함되어 있습니다. 이러한 모든 기능은 TOKYO ELECTRON INDYPLUS를 반도체 제조에서 성공적인 에칭/애싱 프로세스에 이상적인 선택으로 만듭니다.