판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828775

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 웨이퍼 제조 프로세스에 사용되는 고급 에처/애셔입니다. TEL이 만든 에칭 장비 제품군의 최신 제품입니다. 이 기계는 300mm 및 200mm 웨이퍼에 대한 에칭 및 애싱 (ashing) 과 관련된 다양한 임무를 처리 할 수 있습니다. 고급 기능은 중요한 집적 회로 프로세스 단계를 위한 안정적인 솔루션을 제공합니다. 이 기계는 고효율의 세라믹 RF 챔버를 장착하여 더 나은 식각 선택성, 정확성 및 균일성을 제공합니다. 또한 로드 잠금 (load lock) 및 프로세스 박스 (process box) 가 있습니다. 즉, 웨이퍼가 환경에 노출되지 않고 장비에 적재 될 수 있으므로 재료 순도가 보장됩니다. 공정 가스 전달 시스템 (process gas delivery system) 은 또한 효율적인 가스 전달 및 온도 조절을 위해 습식 벤치에 연결되어 있습니다. 또한 프로세스 결함을 막기 위해 웨이퍼 (wafer) 검사를 위한 이미지 캡처 기능이있는 고해상도 카메라가 있습니다. TEL INDYPLUS 솔루션은 회사의 동적 Ozone Removal Unit (DORS) 기술을 통합합니다. 기계 는 "에칭 '공정 에 의하여 생성 되는 원치 않는" 오존' "가스 '를 걸러내어 더 안전 할 뿐 아니라 더 효율적 임 을 발견 한다. 자동 게이지 (auto-gauge) 및 현장 (in-situ) 도량형 제어 도구는 프로세스 주기 시간을 줄이고 집적 회로 기술 노드 어레이 (array of integrated circuit technology nodes) 에서 제품의 품질을 보장하는 데 효과적입니다. 에셋은 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 에 의해 제어되므로 시스템을 쉽게 설정하고 유지 관리할 수 있습니다. 또한 자동화 장비 (옵션) 로 구성할 수 있으며, 운영 요구 사항을 보다 쉽고 간편하게 구성할 수 있습니다. 이 모델은 프로세스 최적화 (Process Optimization) 를 위한 문제 해결 활동에 대한 실시간 데이터를 제공하며, 직관적인 유지 보수 (Maintenance) 모드도 함께 제공하므로 예방적 유지 관리 루틴을 신속하게 구현할 수 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 반도체 패브에 이상적인 고급 에처/애셔입니다. 최첨단 기능은 최고의 소재 순도 (material purity) 와 뛰어난 장비 수명주기 가동 시간으로 안정적인 프로세스 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 유지 보수가 쉽고, 비용 효율적이며, 여러 가지 자동 (automated) 기능을 제공하여 집적 (integrated) 회로 생산 프로세스를 원활하게 실행할 수 있습니다.