판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828774

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 산업 내에서 다양한 에칭 및 애싱 요구를 충족시킬 수 있도록 설계된 반자동 컴팩트 에처/애셔 장비입니다. 에칭에 대해 최대 40 사이클/hr의 자동 에칭 및 애싱 속도 (최대 16 분) 를 가지며 실리콘 웨이퍼, 평면 패널 디스플레이, 알루미늄 금속화 레이어, 상호 연결 등 다양한 기판을 지원합니다. 시스템의 무게는 약 950kg이며 전체 단위 공간은 약 1200 × 1100mm입니다. 운영자는 Windows 및 Linux 모두를 지원하는 컴퓨터를 통해 시스템에 액세스할 수 있습니다. 운영 도구는 TEL이 개발 한 독점 소프트웨어입니다. TEL INDYPLUS는 개방형 카세트 로딩 스테이션, 기계 테이블, 애싱 챔버, 에칭 챔버, 자산 컨트롤 및 가스 패널로 구성됩니다. 오픈 테이블 카세트 로드 스테이션 (open-table cassette loading station) 은 최대 25 개의 기판을 포함하는 카세트의 자동 로드 및 언로드 센터로 작동합니다. 카세트 테이블 바로 오른쪽에 있는 머신 테이블 (machine table) 에는 모델의 필수 컴포넌트가 모두 들어 있습니다. 여기에는 RF 발전기, 가스 패널, 가스 라인, 로드 잠금 및 진공 펌프가 포함됩니다. 에칭 챔버는 기계 테이블 바로 아래에 있습니다. 자동화된 하단 리프트 카세트 (bottom lift) 카세트 로딩 장비가 특징이며, 에칭 중에 운영자가 기판 위치를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 처리 시간을 더욱 향상시키기 위해 로드 잠금 기능을 갖춘 이중 RF 공급 업체가 있습니다. 애싱 섹션에는 전용 석영 튜브가있는 애싱 챔버가 있습니다. 이 시스템은 빠른 애싱 (ashing) 기능을 통해 처리 시간을 최소화합니다. 또한 효율적인 백사이드 배기 장치 (backside exhaust unit) 를 사용하여 기판이 제대로 파쇄되도록 합니다. 이 기계는 또한 압력 센서, 방출 모니터, 누출 감지 시스템 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 표준 웨이퍼 처리 도구 및 프로브, 핀저, 장갑, 핀 및 쿼츠 보트와 같은 액세서리와 호환됩니다. TOKYO ELECTRON은 TOKYO ELECTRON INDY PLUS 도구가 매우 사용자 친화적이며 효율적이므로 전 세계 많은 반도체 기업에게 인기있는 선택입니다.