판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828773

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 우수한 해상도와 결과를 위해 설계된 반도체 장치 제조에 적합한 에처/애셔입니다. TEL INDYPLUS는 저농도 염소 가스를 에찬트로 사용하는 50 와트 플라즈마 보조 Si 기반 에처/애셔입니다. 이 장비에는 2 개의 독립적 인 이온 소스가 있으며, 이 이온 소스는 양성 (positive) 및 음성 (negative) 광 주의자에게 우수한 에칭 프로세스를 전달하도록 최적화되었습니다. 에치 소스 (etch source) 는 빠른 열 산화 소스를 사용하는데, 이는 저주파 드리프트를 제거하고 더 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, TOKYO ELECTRON INDY PLUS에는 에지 거칠기, 노이즈 감소, 기질 균일성 및 전체 치수 정확도를 포함하여 반도체 장치 제작의 일반적인 과제를 해결하도록 특별히 설계된 광범위한 기능이 포함되어 있습니다. 또한 INDYPLUS는 독립적 인 피드백 제어 시스템 (feedback control system) 을 사용하여 정확한 에칭 속도와 매개변수를 보장합니다. 이 기능을 사용하면 패턴 제어를 정확하고, 추가 이터레이션 또는 프로세스 단계의 필요성을 줄이고, 프로세스 반복성을 크게 향상시킬 수 있습니다. 이 장치에는 고급 산술 커브 피팅 (advanced arithmetic curve fitting) 기능이 장착되어 있어 모든 프로세스 요구 사항에 맞게 추적 가능한 매끄러운 에칭 패턴을 쉽게 생성할 수 있습니다. INDY PLUS는 고급 PECVD 프로세스를 사용하여 기본 기판을 준수하고 보호하는 박막 레이어를 만듭니다. 이 프로세스는 균일 한 스텝 커버리지와 우수한 준수성을 갖춘 고품질 코팅 레이어를 생성 할 수있는 플라즈마 강화, 저주파 CVD (LFCVD) 원자로를 사용합니다. 첨단 광학 머신 (advanced optics machine) 과 함께 사용하면 복잡한 기능과 엄격한 공차를 갖춘 다양한 장치 구조를 생산할 수 있습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 에칭 및 애싱 프로세스의 실험과 사용자 정의가 가능한 고급 도구 세트가 제공됩니다. 또한, 순차 에칭 (sequential etching) 및 원격 애싱 (remote ashing) 을 포함하여 광범위한 에칭 및 애싱 기능을 가능하게하도록 여러 펌프를 구성 할 수 있습니다. 이러한 기능은 탁월한 프로세스 제어 및 반복성과 함께 인디 플러스 (Indy Plus) 를 반도체 장치 제조를위한 이상적인 에처/애셔 솔루션으로 만듭니다.