판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828769

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 고급 기판 처리를 위해 반도체 산업에서 광범위하게 사용되는 에처 및 애셔 장비입니다. 이 시스템은 DRIE (deep reactive ion etching), 드라즈마 에칭 및 플라즈마 에칭과 같은 에칭 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한 애싱 (ashing) 이 가능하며, 이는 부산물 및 기판 표면의 기타 원치 않는 재료의 제거에 사용됩니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 장치는 고급 플라즈마 에처 (Etcher) 로, 시간과 비용을 절감하고 높은 품질과 안정적인 에치 프로세스를 보장하도록 설계되었습니다. 진공실, 가스 제어 도구, 기판 가열 장치, 플라즈마 발전기를 결합한 통합 기계입니다. 자산은 TOKYO ELECTRON INDY PLUS etcher와 Indy Asher의 두 부분으로 구성되며 직경이 최대 200mm 인 기판을 처리 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS 에처는 고정밀 용량 결합 RF 여기 소스를 특징으로합니다. 이를 통해 안정적이고 균일 한 플라즈마 (plasma) 를 효율적으로 생성하여 안정적이고 반복 가능한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델에는 고급 디지털 제어 프로세서 (advanced digital control processor) 가 장착되어 있어 에치 깊이 (etch depth), 모양 (shape), 프로파일 (profile) 과 같은 에칭 프로세스를 정확하고 프로그래밍 가능한 제어할 수 있습니다. 인디 애셔 (Indy Asher) 는 기판에서 유기, 금속 및 무기 물질을 제거하도록 설계된 빠르고 신뢰할 수있는 애싱 프로세스를 사용합니다. 재어 (asher) 는 기존의 재싱 (ashing) 기술보다 뛰어난 정확하고 반복성으로 표면을 빠르게 청소할 수 있습니다. 그것 은 "플라즈마 '" 챔버' 에 균일 한 온도 분포 를 제공 하여 "에칭 '율 을 짝수 있게 한다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS) 장비에는 프로세스 효율성을 높이고 에칭 및 어싱 프로세스 결과를 향상시키는 여러 기능이 장착되어 있습니다. 즉, 압력, 가스 흐름, 온도, RF 전력을 완벽하게 제어하므로, 사용자는 처리 매개변수를 정확하게 최적화하고 설정된 조건을 쉽게 반복할 수 있습니다. 이 시스템은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 사용되는 가스를 효율적으로 공급하기 위한 가스 관리 장치 (gas management unit) 와 프로세스를 실시간으로 모니터링하기 위한 통합 원격 모니터링 디스플레이 (integrated remote monitoring display) 를 갖추고 있습니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDY PLUS) 머신은 매우 정밀하고 반복 가능한 기판 처리를 제공하도록 설계된, 강력하고 안정적인 에칭 및 애싱 도구입니다. 반도체 업종 (반도체) 에서 활용하는 데 이상적이며, 이를 통해 사용자는 프로세스 개선을 도모할 수 있게 되었습니다 (영문).