판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828768

TEL/TOKYO ELECTRIN TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 광범위한 기판 에칭 응용 분야를 위해 개발된 자동 asher/etcher 기계입니다. 반도체 웨이퍼, MEMS (Microelectromechanical Systems) 및 기타 얇은 기판과 같은 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 세심하게 설계된 공정 챔버 (process chamber) 를 특징으로하여 정확한 에칭 속도를 높이고 균일 한 결과를 처리합니다. 혁신적인 온도 조절 장비 (Temperature Control Equipment) 는 우수한 기판의 균일성을 보장하며 여러 가지 고유하고 특화된 구성 및 작동을 허용합니다. TOKYO ELECTRON/TOKYO ELECTRIN TEL INDYPLUS에는 수동 이동을 포함하지 않고 정확하게 에칭할 수있는 정확한 마이크로 모션 테이블이 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 프로세스 공차를 쉽게 충족하고 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 이 표는 또한 특허를받은 글러브 박스 시스템 (glove box system) 을 사용하여 공정 챔버에서 오염 물질의 흐름을 줄입니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS에는 온보드 가스 믹싱 컨트롤러도 있습니다. 이를 통해 사용자는 건조 (dry) 와 비활성 (inert) 또는 부식성 (corrosive) 가스를 정확하게 혼합하여 에칭 작업을 위해 원하는 대기를 만들 수 있습니다. 이 단위의 압축 된 가스 (compressed gas) 는 추가 이미징 및 분석을 위해 분석 셀로 전송됩니다. 사용자는 창 기반 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 를 통해 전체 프로세스를 제어하고 원격 연결을 통해 호스트 컴퓨터에 접속할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 다재다능하며 플라즈마 및 반응성 이온 에칭, 극저온 및 스퍼터 증착과 같은 다양한 연산을 처리 할 수 있습니다. 또한 스캔 제어, 데이터 로깅 및 프로그래밍 가능한 레시피와 같은 고급 기능도 제공합니다. 안전성 연동이 내장되어 있어 위험한 운용 상태를 방지할 수 있어, 심각한 부상과 재산 피해가 발생할 수 있습니다 (영문). TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 다른 구성 요소와 통합되어 완전한 생산 기계를 만들 수 있습니다. 젖은 벤치, 저항 스트리퍼 및 추가 도구 주변 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 또한 특정 재료와 요구 사항에 쉽게 보정 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON/TOKYO ELECTRIN TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 다양한 고급 기능을 갖춘 정밀 기판 식각 기기를 찾는 사람들을위한 독특한 솔루션을 제공합니다. 첨단 기술 (최첨단 기술) 은 우수한 결과와 품질 관리, 다용도로 다양한 운영 및 어플리케이션에 적합합니다.