판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828767

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 정밀 재료 제거 및 유전체 필름 증착을 위해 설계된 고급의 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 반도체 장치의 기본 에칭/도핑/증착 (etching/doping/deposition) 에서부터 고급 패키징 디자인의 구리 선 패턴을위한 고급 플라즈마 에칭까지 다양한 응용 프로그램을 제공합니다. TEL INDYPLUS 장치는 높은 속도와 정밀도를 모두 제공하여 반복 가능한 결과를 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS 머신의 핵심은 터치 스크린 PC (touch-screen PC) 로, 데이터 획득 및 제어 도구를 구성하는 하드웨어 구성 요소가 들어 있습니다. 이 터치스크린 PC에는 고급 프로세스 제어 소프트웨어 (process-control software) 가 장착되어 있어 응용 프로그램의 정확한 매개변수를 빠르고 쉽게 구성할 수 있습니다. 또한 PC 에는 전문가 수준의 사용자를 위한 자동 교육 모드, 실시간 모니터링 (real-time monitoring) 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 인디 플러스 (INDYPLUS) 자산은 공정에 따라 다양한 도구를 사용하여 구성할 수 있습니다. Toggle etcher와 Side etcher의 두 가지 유형의 에처가 제공됩니다. 이 두 가지 에칭 시스템 모두 많은 프로그래밍 가능한 궤도 및 수직 움직임을 제공하여 에치 속도 (etch rate), 선택성 (selectivity) 및 균일성 (uniformity) 을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 Side etcher는 단일 패스에서 최대 1000um 깊이를 가져올 수있는 용량을 제공합니다. 드라이 에칭의 경우, TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS 모델은 고급 가스 흐름 컨트롤러를 제공하여 모든 에치 가스에 대해 빠르고 정확한 흐름 제어를 가능하게하며 Alarm Annunciator는 빠른 경보 응답 및 피드를 제공합니다. 또한, 플라즈마 챔버에는 고급 RF 구동 기능 세트가 장착되어 가스 구성, 농도, 압력 및 흐름을 제어하여 높은 정확도의 에치 프로파일을 제공합니다. 처리량 향상을 위해 장비에는 Wafer-to-Wafer 처리 시간이 10 초 미만인 자동 Wafer Loading 및 Unloading이 포함됩니다. 필름 증착 응용 프로그램의 경우, 인디 플러스 (Indy Plus) 시스템은 필터링 된 진공 호, 스퍼터 음극 및 증발 소스와 같은 다양한 증착 소스를 제공합니다. 이러 한 "소오스 '에는 조정 가능 한 출력 이 있으며, 금속 에서부터 중합물, 유기물 에 이르기 까지 매우 다양 한 물질 에 적합 하다. 또한 온보드 소스 모니터링 장치 (Onboard Source Monitoring Unit) 는 증착 프로세스에 대한 완전한 제어 및 피드백을 허용합니다. 고성능 하드웨어, 유연한 소프트웨어 및 다양한 강력한 도구의 조합으로 TOKYO ELECTRON Indy Plus (TOKYO ELECTRON Indy Plus) 는 다양한 에칭 및 증착 어플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다. 전문 사용자이든, 기본 etch/doping/deposition 기능이 필요하든, TOKYO ELECTRON INDYPLUS 머신은 복잡하고 복잡한 프로세스 개발 및 최적화를 허용하면서 빠르고 반복 가능한 결과를 제공합니다.