판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828765

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 제조에 사용되는 고급 에처/애셔입니다. 반도체 제조에서 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 단계를 제공하도록 설계된 고급 도구입니다. 강력한 플라즈마 소스, 로봇 암 모션, 로드 락 챔버 (load lock chamber) 로 제작되어 샘플을 손쉽게로드하고 언로드합니다. 혈장 공급원은 산화물, 질화물, 폴리 실리콘 에칭이 가능한 균일 한 플라즈마를 생성하도록 설계되었습니다. 로봇 암은 샘플 배치 정확도를 유지하기 위해 피드백 루프 (feedback loop) 로 정확한 샘플 조작이 가능합니다. TEL INDYPLUS의 로드 잠금 챔버는 웨이퍼 로딩을 위해 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 2 개의 교환 가능한 웨이퍼 냉각 스테이지와 특수 에칭/애싱 요구 사항을 위해 여러 가스를 제공 할 수있는 내부 가스 혼합 장치 (internal gas mixing unit) 가 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON INDY PLUS에는 최적의 프로세스 제어를 위해 가스 농도를 지속적으로 모니터링 할 수있는 고속 반응 가스 전계 효과 트랜지스터 (FET) 모니터링 시스템이 있습니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDY PLUS) 는 에칭/애싱 단계를 제어하고 실행하기 위해 개발 된 완전히 실현 된 레시피에서 지원됩니다. 또한 향후 프로세스 분석을 위해 모든 데이터를 모니터링, 저장, 아카이빙할 수 있는 데이터 관리 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, Indy Plus는 다양한 특수 도구를 지원하여 프로세스 제어를 더욱 강화합니다. 이 도구에는 록켓 가스 투여 장치, 증착 속도 조절을위한 통합 다운 스트림 센서 및 RF 플라즈마 발전기 (Plasma Generator) 가 포함됩니다. 인디 플러스 (INDYPLUS) 는 반도체 제작에서 매우 귀중한 도구로서, 최소한의 입력으로 최대 출력과 수율을 제공하도록 설계되었습니다. 견고한 설계와 효율적인 운영을 통해 작은 설치 공간과 높은 수율로 품질 IC (Quality IC) 를 신속하게 생산할 수 있습니다. 또한, 사용자 친화적 인 인터페이스와 종합적인 다용도 (다용도) 를 통해 소형에서 대형의 모든 크기의 Fabs에 적합합니다. TEL 인디 플러스 (TEL Indy Plus) 는 반도체 제조 응용 분야를 위해 정확한 에칭 및 애싱 솔루션을 제공 할 수있는 기술적으로 진보 된 에처/애셔입니다. 견고한 설계, 효율적인 로드, 포괄적인 프로세스 제어, 데이터 관리를 통해 업계에서 매우 귀중한 툴입니다.