판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828764

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 단일 웨이퍼 및 배치 에치 응용 프로그램 모두에서 정확한 리소그래피 및 에칭 기술을 허용하도록 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 는 최대 32 nm 두께의 물질에 대한 고해상도 에칭을 달성 할 수 있습니다. 다양한 기능을 갖추고 있으며, 다양한 프로세스 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 기본 압력, 압력 균형, 경도, 속도, 전력, 온도 등의 다양한 프로세스 매개변수에 맞게 구성할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TOKYO ELECTRON INDY PLUS) 는 전체 프로세스를 정확하게 제어할 수 있도록 컴퓨터 제어 장비를 갖추고 있습니다. 내장형 소프트웨어를 사용하면 재료 두께 (material thickness), 공정 속도 (process speed), 가스 압력 (gas pressure) 등 다양한 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 정밀도는 사용자에게 완벽한 반복성과 향상된 프로세스 제어를 제공합니다. 추가 된 기능으로서, 시스템은 스퍼터링, 레지스트 스트립, 산화물 증착과 같은 석판 촬영을 수행 할 수도 있습니다. Indy Plus는 단일 웨이퍼 또는 배치 모드에서 작동하도록 설계되었습니다. 단일 웨이퍼 모드에서이 장치는 한 번에 하나의 웨이퍼를 균일 하게 에칭 할 수 있습니다. 이렇게 하면 빠르고 효율적인 에칭 프로세스가 가능합니다. 배치 모드에서, 기계는 한 번에 여러 웨이퍼를 에치 할 수 있습니다. 이 기능은 처리량을 높이고 리소그래피 프로세스의 유연성을 높여줍니다. INDYPLUS에는 추가 가스 박스, 밸브 및 센서 (옵션) 와 같은 여러 옵션이 제공됩니다. 이러한 엑스트라 (extras) 는 프로세스 성능에 대한 추가 제어 기능을 제공하여 사용자에게 원하는 결과를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이 도구에는 산화물 에칭 (oxide etching) 에서 건조 및 습식 에칭 (dry and wet etching) 에 이르기까지 다양한 에칭 기술에 적합한 종합 레시피 라이브러리가 있습니다. TEL INDY PLUS (TEL INDY PLUS) 는 다양성이 높고 사용자 친화적으로 설계되어 모든 종류의 업계에서 사용자들 사이에서 널리 사용되는 선택입니다. 정확성과 정확성에서 사용자 정의 기능에 이르기까지, 인디 플러스 (INDY PLUS) 는 모든 에칭 또는 리소그래피 요구에 이상적인 솔루션입니다. 많은 기능과 옵션을 통해 사용자는 TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS) 를 통해 에칭 또는 리소그래피 프로세스를 최대한 활용할 수 있습니다.