판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828763

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 마이크로 일렉트로닉스, 포토 마스크 및 기타 박막 제작 공정을 위해 특별히 설계된 고급 정밀 에처/애셔입니다. RIE (Reactive Ion Etching) 기술을 사용하여 다양한 기하학과 재료에 걸쳐 정밀 에칭 기능을 제공 할 수 있습니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 는 온도와 진공 제어가 통합 된 완전 밀폐 된 챔버를 갖추고 있으며, 에치 (ech) 재료에도 반복 가능하고 신뢰할 수있는 에칭이 가능합니다. 이 시스템에는 etcher/ashers 작업의 모든 측면을 제어하기위한 대화식 8 인치 컬러 터치 스크린이 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS에는 에칭 프로세스를 모니터링하는 고해상도 광학 뷰포트도 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus는 다양한 프로세스와 기하학을 처리 할 수 있습니다. 미크론 레벨 포지셔닝이 가능한 고품질 플로트 스테이지 및 3 축 시스템이 장착되어 있습니다. 인디 플러스 (Indy Plus) 에는 에칭 매개변수와 에칭 중인 재료가 일치하는 자동 일치 피쳐도 있습니다. 이것은 폐기물을 최소화하면서 에칭 된 재료의 품질을 극대화합니다. 또한, 현대적인 디자인은 어려운 코너와 곡면 (curved surface) 에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. TEL 인디 플러스 (TEL Indy Plus) 는 인력과 재료를 에칭 과정에서 발생하는 유해 가스 및 열로부터 최대한 보호하기 위해 우수한 안전 기능을 제공합니다. 또한 INDY PLUS (INDY PLUS) 는 고급 네트워킹 및 통신 기능을 제공하여 프로세스를 원격으로 제어하고 기존 운영 네트워크와의 통합을 지원합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 photomask, polyimides, SiN/SiO2 및 metal과 같은 많은 재료 유형에 대한 에칭 및 청소 프로세스를 선택할 수 있습니다. 이 프로세스는 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 및 MEMS 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었으며 최대 200mm 크기의 광범위한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDY PLUS) 는 높은 정밀도, 고품질, 반복 가능한 생산 결과에 이상적인 에치 및 애셔입니다.