판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828762

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 처리 응용 분야에 사용되는 에처/애셔입니다. 고도의 멀티 존 (multi-zone) 공정 챔버를 사용하여 반도체 장치의 대용량 제조에서 매우 정확하고 고품질 결과를 제공합니다. TEL INDYPLUS (TEL INDYPLUS) 는 다양한 반도체 장치 유형에 대해 자동화, 효율적, 정확한 솔루션을 제공하여 에칭 프로세스의 최신 표준을 충족하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TOKYO ELECTRON INDY PLUS) 에는 멀티 존 (Multi-Zone) 기능을 갖춘 프로세스 챔버가 장착되어 있으며 사용자는 각 프로세스 세트에 대해 별도의 조건을 지정할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스의 모든 단계를 보다 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 챔버 (chamber) 에는 주변 미립자 또는 기타 잔해로 웨이퍼 표면을 오염 할 위험을 줄이기 위해 자동 하중 잠금 챔버 (load-lock chamber) 가 포함되어 있습니다. INDY PLUS는 TOP (TOTAL PROcess Control) 기술을 갖추고 있으며, 이 기술은 뛰어난 정확성과 반복성을 제공하는 자동화 기능 및 프로세스 제어 제품군입니다. 이를 통해 결과가 일관되게 정확하고 안정적인지 확인할 수 있습니다. 또한 eching 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 테스트하여 최상의 최종 결과를 보장합니다 (영문). 안전을 위해 Indy Plus는 2 개의 독립적 인 질소 냉각 정전기 챔버로 설계되었습니다. 이는 운영 중 우발적 방전을 방지하고 오염으로부터 추가적인 보호 기능을 제공합니다. 이 소프트웨어는 빠르고 효율적인 작동을 위해 설계되었으며, 광범위한 프로그래밍 언어를 지원하므로 사용이 간편한 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공합니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus (TOKYO ELECTRON Indy Plus) 는 다양한 주요 툴 및 구성 요소와 호환되므로 고객이 최고의 에칭 결과를 얻을 수 있습니다. 여기에는 FMATH 및 PARFRAC와 같은 업계 표준 공정 기기와 N2 가스, HaTEM 얇고 저항하는 제거기, 리소그래피 모델, 사용 가능한 레시피 옵션 등의 다양한 재료가 포함됩니다. 전반적으로 TEL Indy Plus는 반도체 처리 응용 분야를 위해 특별히 설계된 고급 에처 애셔입니다. 안정적이고 경제적인 에칭 솔루션을 제공하며 일관성 있고 정확한 에칭 결과를 제공합니다. 고급 프로세스 챔버 (process chamber) 및 자동화 프로세스 (automated process) 를 통해 대용량 반도체 장치 생산에서 최고 수준의 에칭 결과 품질을 얻을 수 있습니다.