판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828761

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 다양한 반도체 응용 및 프로세스를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 작은 발자국, 단일 웨이퍼 에치/애쉬 장비로 정확하고 처리량이 높은 이종 에치/애쉬 프로세스를 제공합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 최대 100 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 작은 150mm 챔버가 있으며 다양한 재료에 대한 다양한 에칭/애싱 프로세스가 가능합니다. 텔 인디 플러스 에처/애셔 (TEL INDYPLUS etcher/asher) 는 전체 웨이퍼에 대해 웨이퍼 에칭 또는 애싱 균일성의 정확한 프로세스 반복성을 보장하는 고급 시스템 설계를 가지고 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS etcher/asher는 전자 플라즈마 소스와 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 플라즈마를 사용하여 매우 균일 한 플라즈마 에칭 또는 재싱을 제공합니다. 플라즈마 소스의 옵션은 ECR에서 표준 유도 결합 플라즈마 (ICP) 로 변경 될 수있다. 또한, 특정 요구 사항에 맞게 프로세스를 사용자 정의하기 위해 고급 piezo-actuator 및 wafer-spin 옵션을 포함 할 수 있습니다. 에처 (etcher) 는 고품질 미네랄 빌드 업 보호 장치를 갖추고 있으며, 고급 웨이퍼 스핀 제어는 매우 균일 한 이온 폭격을 보장하며, 이는 고도로 균일 한 에칭/애싱에 필수적입니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS etcher/asher는 프로세스 시간과 무관한 압력, 온도 및 RF 전력 조정을 포함한 다양한 모니터링 및 제어 기능으로 제작되었습니다. 이를 통해 산화물 에칭 (oxide etching), 나노 배출 (nanotexturing), 선택적 에칭 (selective etching) 또는 애싱 (ashing) 과 같은 광범위한 프로세스가 수행 될 수 있습니다. 이 기계는 프로세스 활동을 쉽게 모니터링하기 위해 에치/애쉬 (etch/ash) 프로파일을 실시간으로 표시합니다. INDY PLUS etcher/asher는 사용자 정의가 용이하며 특정 프로세스 요구 사항을 충족하도록 구성할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 프로세스 균일성과 반복성을 극대화하기 위해 설계되었으며, 중대량 프로세스를 통해 운영 작업에 적합합니다. 이 도구는 다양한 재료 (materials) 와도 호환되므로 여러 프로세스 응용 프로그램에 적합합니다.