판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293821712

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 산업의 에처/애셔로, 반도체 장치를위한 고급 에칭 및 애싱 기술을 제공합니다. TEL INDYPLUS는 0.5 nm 이하의 에치 해상도와 5 nm 이상의 정확도를 제공하여 효율적이고 정확하도록 설계되었습니다. 단일 웨이퍼 크기는 6 인치 또는 8 인치이며 최대 450nm의 필름과 단계를 처리 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS에는 전동 독립 전진 (Independent Forward) 및 후진 (Backward) 횡단 스테이지가 장착되어 있어 정렬 및 반복 가능성 향상에 대한 높은 정확성을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 TEL이 개발 한 고급 에칭 기술 인 VOC-ET (Volatile Organic Compound-assisted Etching) 라는 독특한 에칭 기술을 사용합니다. VOC-ET 기술은 수직 측면 벽과 우수한 에치 프로파일을 갖춘 세밀한 규소 및 FinFET 장치를 처리 할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 추출 메모리 호환성 기능을 사용하여 이전 장치의 레시피를 쉽게 리콜 할 수 있습니다. TEL INDY PLUS는 또한 TOKYO ELECTRON 독점 소프트웨어를 사용하여 에치 및 애싱 레시피를 사용자 정의하는 기능을 제공합니다. TEL 인디 플러스 (TEL Indy Plus) 에는 에칭과 재싱을 동시에 독립적으로 용이하게하는 여러 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 공정 챔버에는 플루오린 프리 가스 혼합물 (fluorine-free gas mixture) 전달 장비가 장착되어 있는데, 이는 에치 성능을 극대화하면서 공정 배출량을 최소화하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus (TOKYO ELECTRON Indy Plus) 는 자동 미디어 전달 시스템과 수냉식 배기 장치를 사용하여 유지 보수 및 비용 효율적인 운영을 위해 설계되었습니다. 또한 INDYPLUS (INDYPLUS) 는 원격 액세스 기능을 제공하므로 중앙 위치에서 프로세스 설정을 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 인디 플러스 (Indy Plus) 는 반도체 산업의 특정 요구를 충족시키면서 일관성 있고 고품질의 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 디바이스/신뢰성 테스트와 관련된 시간과 비용을 절감하고, 고급 디바이스 노드에 향상된 프로세스 (process) 기능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDYPLUS (TOKYO INDYPLUS) 는 여러 기판 및 웨이퍼 크기를 처리할 수 있으며, 최고의 생산성 및 가동 시간 표준을 충족하도록 설계되었습니다.