판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293758842

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 요소 밀도가 높은 고급 집적 회로를 생산하는 데 사용되는 고도의 etcher/asher 장비입니다. "플라즈마 '는 금속" 필름' 을 "웨이퍼 '표면 으로 증발 시키는 데 사용 되는 진공 증착" 스퍼터링' 장치 를 기초 로 한다. 이 기계는 특히 현재 기술의 해상도의 10 배에 달하는 고정밀도, 초고밀도 회로를 만드는 데 적합합니다. TEL INDYPLUS는 고정밀도 및 고화질 스퍼터링을 위해 TEL 독점 DISM (Direct Ion Sputtering Module) 을 포함한 다양한 최첨단 기술을 사용합니다. 또한, 이 툴에는 다양한 에칭 프로세스를 지원하기 위해 여러 가지 고급 기술 모듈 (Advanced Technology Module) 과 독점 소프트웨어 (Proprietary Software) 패키지가 장착되어 있습니다. 여기에는 연속적인 증착 또는 에칭 전에 웨이퍼 표면을 청소 할 수있는 Pre-Clean 모듈이 포함됩니다. 및 etching 프로세스를 실시간으로 제어하는 Nano-Lith Process Control Module. TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 다양한 조합 및 구성을 허용하는 멀티 모듈 자산을 사용합니다. 이것은 완전 자동화 장비를위한 통합 FAS (Flexible Automation Model) 와 결합됩니다. 생산 다양성을 더욱 높이기 위해, 이 시스템은 0.1 마이크로미터 (1 밀리미터의 1/10,000) 의 라인 너비를 가진 장치를 생산할 수 있으므로 4G 및 5G 모바일 기술과 같은 고정밀도 및 초저속 kV 어플리케이션에 바람직합니다. 또한, TOKYO ELECTRON 인디 플러스 (Indy Plus) 에는 오염 위험을 줄이기 위해 개선 된 환경 관리 장치 (Environmental Control Unit) 와 같은 여러 가지 내장 안전 기능이 장착되어 있으며, 고장 위험을 최소화하는 낮은 kV 설계가 있습니다. 더욱이, 이 기계는 모든 레이어에서 뛰어난 균일성을 얻을 수 있지만, 일관성 있고, 고품질의 최종 제품을 제공하며, 맨눈으로는 감지 할 수없는 금속 선 (metal line) 을 인쇄 할 수 있습니다. TEL 인디 플러스 (TEL Indy Plus) 는 고도로 안정적이고 다기능 에처/애스퍼 (etcher/asper) 툴로, 다양한 집적 회로 생산에 필수적인 제조 도구입니다. 인디 플러스 (INDYPLUS) 는 탁월한 에칭 정밀도, 강력한 안전 기능, 고급 기술을 통해 집적 회로 제조를 위한 포괄적이고 사용자 친화적 인 솔루션을 제공합니다.