판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293754740

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293754740
웨이퍼 크기: 12"
Furnace, 12" Process: TEOS Atomic Layer Deposition (ALD) Poly Nitride 2009-2018 vintage.
텔/도쿄 일렉트로닉 인디 플러스 (TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus) 는 정교한 에칭 및 애싱 플랫폼으로 사용자에게 높은 정밀도와 정확도를 제공합니다. 0.3-2 미크론의 공차를 사용하여 복잡한 기하학을 만드는 데 도움이됩니다. 항공 우주, 의료 및 반도체 산업에 이상적입니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 는 에칭/애싱 머신으로, 두 프로세스를 통합하여 최고 품질의 빠른 결과를 얻을 수 있습니다. 하나의 공정에서 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 결합하며 최대 2 단계의 구조를 패턴화할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS의 높은 정확도와 속도는 E-Gun과 E-Pod의 두 가지 주요 구성 요소로 인정 될 수 있습니다. E-Gun (E-Gun) 은 고전압을 사용하여 전기 호를 생성하여 기판에서 에치 및 애싱 패턴을 생성합니다. 반면 에 "전기" 포드 '는 공정 의 속도 를 높여 주며, 필요 한 시간 인 "에치' 와 재 를 상당 히 줄이는 데 도움 이 된다. 또한 에칭/애쉬 패턴에서 비 균일 성을 줄이는 데 도움이됩니다. INDY PLUS는 또한 고성능 CCD (charge coupled device) 카메라와 레이저 탐지 기술을 갖춘 높은 정확도 재료 제어를 갖추고 있습니다. 카메라가 불균일 성 (non-uniformity), 뒤틀림 (warpage) 및 스트레스 변화 (stress variation) 와 같은 미묘한 변화를 감지 할 수 있으므로 높은 수준의 정확성과 정확성을 보장합니다. 이러한 기능을 통해 TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 시장에서 가장 정확하고 정확한 에칭 및 애싱 머신 중 하나입니다. INDYPLUS는 또한 실리콘 에칭 (silicon etching), 에칭 된 금속 (etched metal), 리버스 에칭 (reverse etching) 및 엠보스 에칭 (emboss etching) 을 포함한 다양한 응용 분야에 대해 필요한 사양에 맞게 조정할 수 있기 때문에 상당히 유연한 기계입니다. 또한 Indy Plus는 Si, Ge, quartz, Al 및 SiC와 같은 다양한 기판을 지원하여 더 많은 유연성을 보장합니다. 높은 수준의 정확성, 탁월한 프로세스 제어 및 유연성으로 인해 TEL Indy Plus는 항공 우주, 의료 및 반도체 업계의 사용자에게 이상적인 선택입니다. TOKYO ELECTRON INDYPLUS (TOKYO ELECTRON INDYPLUS) 는 에칭 및 애싱 프로세스를 통합하여 처리량을 향상시키는 한편 수동 작업과 관련된 많은 오류를 제거합니다. 저렴한 비용과 높은 수준의 정확성은 매력을 더합니다.
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